[發(fā)明專利]氣浮軸承裝置、運動臺以及光刻設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010124737.X
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN113309785B
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王昱
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;F16C33/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種氣浮軸承裝置，其特征在于，包括：

氣浮單元，所述氣浮單元包括軸承主體，所述軸承主體具有相對的氣浮面和安裝面，所述安裝面設(shè)置有第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；

支撐單元，所述支撐單元包括支座主體和調(diào)節(jié)塊，所述支座主體具有相對的第一表面、第二表面以及貫穿所述第一表面和所述第二表面的安裝孔，所述調(diào)節(jié)塊從所述第一表面一側(cè)可拆卸且高度可調(diào)地設(shè)置在所述安裝孔內(nèi)，所述調(diào)節(jié)塊朝向所述第二表面的一端設(shè)置有第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；

其中，所述第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)和所述第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)對應(yīng)于所述安裝孔形成球副連接；所述第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)為錐形凹面結(jié)構(gòu)或球面接頭中的一種，所述第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)為所述錐形凹面結(jié)構(gòu)或所述球面接頭中的另一種；所述球面接頭能夠從所述安裝孔中拆卸。

2.如權(quán)利要求1所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，還包括連接單元，所述連接單元包括：

第一限位結(jié)構(gòu)，可拆卸地設(shè)置于所述調(diào)節(jié)塊和所述支座主體之間；以及

第二限位結(jié)構(gòu)，可拆卸地設(shè)置于所述支座主體和所述軸承主體之間。

3.如權(quán)利要求2所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述第一限位結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述調(diào)節(jié)塊和所述支座主體上的螺孔以及與所述螺孔匹配的鎖緊螺釘。

4.如權(quán)利要求2所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述第二限位結(jié)構(gòu)包括貫穿所述支座主體上位于所述安裝孔周圍的第一限位孔、設(shè)置在所述第一限位孔內(nèi)的預(yù)緊彈簧以及限位螺釘，所述限位螺釘能夠穿過所述預(yù)緊彈簧并延伸至所述軸承主體，以連接所述支座主體和所述軸承主體。

5.如權(quán)利要求2所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述連接單元還包括：

第三限位結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述安裝孔兩側(cè)，用于在所述調(diào)節(jié)塊拆離后，限定所述支撐單元和所述軸承主體之間的相對位置。

6.如權(quán)利要求5所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述支座主體與所述軸承主體之間設(shè)置有第三限位結(jié)構(gòu)，所述第三限位結(jié)構(gòu)包括限位銷和與所述限位銷匹配的限位槽，所述限位銷設(shè)置在所述支座主體的第二表面，所述限位槽設(shè)置在所述軸承主體的安裝面。

7.如權(quán)利要求1至6任一項所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述氣浮軸承裝置還包括：

供氣單元，所述供氣單元包括進(jìn)氣接頭和氣體通道；其中，所述進(jìn)氣接頭與所述調(diào)節(jié)塊朝向所述第一表面的一端連接，所述氣體通道經(jīng)由所述調(diào)節(jié)塊、所述第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)進(jìn)入所述軸承主體并通向所述氣浮面；或者，所述進(jìn)氣接頭連接所述軸承主體且所述氣體通道通過所述軸承主體通向所述氣浮面。

8.如權(quán)利要求1至6任一項所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述安裝孔內(nèi)表面設(shè)置有螺紋，所述調(diào)節(jié)塊通過所述安裝孔與所述支座主體螺接。

9.如權(quán)利要求1至6任一項所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述支撐單元還包括柔性塊，所述柔性塊設(shè)置于所述支座主體的第一表面和/或所述第二表面，以固定所述調(diào)節(jié)塊。

10.如權(quán)利要求1所述的氣浮軸承裝置，其特征在于，所述球面接頭包括邊緣相接的平面和半球面，與所述球面接頭的平面接觸的表面設(shè)置有第一密封圈，所述球面接頭的半球面設(shè)置有第二密封圈。

11.一種運動臺，其特征在于，所述運動臺包括運動臺框架以及導(dǎo)軌，所述運動臺框架朝向所述導(dǎo)軌的表面設(shè)置有如權(quán)利要求 1至10中任一項所述的氣浮軸承裝置，其中，所述氣浮面朝向所述導(dǎo)軌。

12.如權(quán)利要求11所述的運動臺，其特征在于，所述運動臺框架對應(yīng)于所述支座主體的安裝孔區(qū)域設(shè)置有開口，以便于拆卸或安裝所述調(diào)節(jié)塊。