[發(fā)明專利]一種埋入式封裝方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010121618.9 | 申請日: | 2020-02-26 |
| 公開(公告)號: | CN111312597A | 公開(公告)日: | 2020-06-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李駿 | 申請(專利權(quán))人: | 通富微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L23/367;H01L25/16 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎堅(jiān)怡 |
| 地址: | 226000 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 埋入 封裝 方法 | ||
1.一種埋入式封裝方法,其特征在于,所述封裝方法包括:
提供具有電互連結(jié)構(gòu)的基板,所述基板包括相背設(shè)置的承載面和非承載面,所述承載面具有凹槽;
將至少一個芯片倒裝固定于所述凹槽內(nèi),且所述芯片與所述基板的所述電互連結(jié)構(gòu)電連接;
在所述芯片遠(yuǎn)離所述非承載面一側(cè)形成焊料層;
將散熱片固定設(shè)置于所述焊料層上,且所述散熱片覆蓋所述凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝方法,其特征在于,所述將至少一個芯片倒裝固定于所述凹槽內(nèi)包括:
將至少一個芯片的功能面朝向所述凹槽的底部;
將所述功能面上的多個焊盤與對應(yīng)位置處的從所述底部外露的所述電互連結(jié)構(gòu)固定連接;
在所述功能面與所述底部之間形成圍壩,所有所述焊盤位于所述圍壩圍設(shè)的區(qū)域內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的封裝方法,其特征在于,
所述圍壩為底填膠,所述底填膠覆蓋所述焊盤。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝方法,其特征在于,
所述散熱片為平板狀,所述散熱片與至少部分所述承載面接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝方法,其特征在于,
所述散熱片為門型結(jié)構(gòu),包括平板部以及自所述平板部的兩端分別非平行延伸的兩個延伸部,所述平板部覆蓋所述承載面,所述延伸部分別與相鄰的所述基板的至少部分外側(cè)面接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的封裝方法,其特征在于,
所述基板的所述外側(cè)面上設(shè)置有凸起,所述延伸部面向所述非承載面的端側(cè)與所述凸起接觸。
7.根據(jù)權(quán)利要求4-6任一項(xiàng)所述的封裝方法,其特征在于,所述將散熱片固定設(shè)置于所述焊料層上之前,所述封裝方法還包括:
在所述基板與所述散熱片接觸的至少部分區(qū)域上設(shè)置粘結(jié)層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝方法,其特征在于,所述提供具有電互連結(jié)構(gòu)的基板包括:
在所述基板內(nèi)部設(shè)置非外露的被動元件,所述被動元件與所述電互連結(jié)構(gòu)電連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的封裝方法,其特征在于,
所述被動元件設(shè)置于所述基板與所述凹槽相鄰的側(cè)壁內(nèi)部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝方法,其特征在于,所述將散熱片固定設(shè)置于所述焊料層上之后,還包括:
在所述非承載面上形成焊球,所述焊球與所述電互連結(jié)構(gòu)從所述非承載面露出的部分電連接。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





