[發(fā)明專利]運輸設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010121151.8
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN111200040A
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孟文錢
• 申請（專利權(quán)）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11240
• 代理人: 韓建偉

1.一種運輸設(shè)備，用于將晶圓輸送至預(yù)設(shè)位置處，其特征在于，所述運輸設(shè)備包括：

承載結(jié)構(gòu)，用于承載所述晶圓；

電磁組件，位于至少部分所述承載結(jié)構(gòu)的外圍，所述電磁組件用于通電后向所述承載結(jié)構(gòu)施加電磁力，以使所述承載結(jié)構(gòu)處于懸浮狀態(tài)；

驅(qū)動組件，與所述承載結(jié)構(gòu)連接；所述驅(qū)動組件用于在所述承載結(jié)構(gòu)處于所述懸浮狀態(tài)時驅(qū)動所述承載結(jié)構(gòu)運動至所述預(yù)設(shè)位置處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述運輸設(shè)備還包括機架，所述電磁組件設(shè)置在所述機架上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述電磁組件包括：

第一電磁結(jié)構(gòu)，位于所述承載結(jié)構(gòu)的下方，所述第一電磁結(jié)構(gòu)向所述承載結(jié)構(gòu)施加朝上的電磁力；

第二電磁結(jié)構(gòu)，位于所述承載結(jié)構(gòu)的上方且與所述第一電磁結(jié)構(gòu)相對設(shè)置，所述第二電磁結(jié)構(gòu)向所述承載結(jié)構(gòu)施加朝上或朝下的電磁力。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述電磁組件還包括：

第三電磁結(jié)構(gòu)，位于所述承載結(jié)構(gòu)的一側(cè)，所述第三電磁結(jié)構(gòu)向所述承載結(jié)構(gòu)的第一側(cè)施加朝向或遠離所述承載結(jié)構(gòu)的第二側(cè)的電磁力；所述第一側(cè)與所述第二側(cè)背對設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述電磁組件為兩組，一組所述電磁組件包覆至少部分所述承載結(jié)構(gòu)的第一側(cè)，另一組所述電磁組件包覆至少部分所述承載結(jié)構(gòu)的第二側(cè)；其中，所述第一側(cè)和所述第二側(cè)背對設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述機架為兩個，兩個所述機架與兩組所述電磁組件一一對應(yīng)地設(shè)置，兩個所述機架分別位于所述承載結(jié)構(gòu)的兩側(cè)；其中，所述驅(qū)動組件驅(qū)動所述承載結(jié)構(gòu)沿預(yù)設(shè)方向運動，各所述機架沿所述預(yù)設(shè)方向延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述機架包括：

第一板體，所述第一電磁結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述第一板體上；

第二板體，所述第一板體與所述第二板體的一端連接，所述第一板體與所述第二板體呈第一夾角設(shè)置，所述第三電磁結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述第二板體上；

第三板體，所述第三板體與所述第二板體的另一端連接，所述第三板體與所述第二板體呈第二夾角設(shè)置，所述第二電磁結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述第三板體上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述運輸設(shè)備還包括控制模塊，所述控制模塊與所述電磁組件連接，以控制所述電磁組件所在電路的通斷，所述驅(qū)動組件包括：

驅(qū)動裝置，與所述承載結(jié)構(gòu)連接，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述承載結(jié)構(gòu)運動；所述控制模塊與所述驅(qū)動裝置連接，以控制所述驅(qū)動裝置的啟停動作。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述控制模塊還用于控制所述電磁組件所在電路處于通路狀態(tài)且控制所述驅(qū)動裝置處于停止運行狀態(tài)，以使所述運輸設(shè)備處于承接狀態(tài)，所述承載結(jié)構(gòu)對所述晶圓進行承載；待所述承載結(jié)構(gòu)承載所述晶圓后，所述控制模塊再控制所述驅(qū)動裝置處于啟動狀態(tài)，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述承載結(jié)構(gòu)帶動所述晶圓運動。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的運輸設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為氣缸或液壓缸，所述氣缸或所述液壓缸的活塞桿與所述承載結(jié)構(gòu)連接，以通過所述活塞桿驅(qū)動所述承載結(jié)構(gòu)運動。