[發明專利]一種柔性薄膜測試裝置及柔性薄膜生產線

在審

• 申請號: 202010120846.4
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN111272798A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 朱家暢;張衛衛;朱家寬;高錦龍;劉杰鵬
• 申請（專利權）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號: G01N23/227
• 分類號: G01N23/227;G01N23/223
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 孔祥貴

本發明公開了一種柔性薄膜測試裝置及柔性薄膜生產線，所述柔性薄膜測試裝置包括：用于傳輸銅銦鎵硒柔性薄膜的腔體，腔體的兩側分別設有用于傳輸銅銦鎵硒柔性薄膜的進口和出口，腔體內設有用于支撐并導向銅銦鎵硒柔性薄膜的導向輥，腔體的內壁上設有用于檢測銅銦鎵硒柔性薄膜的EDX檢測裝置，腔體內設有用于冷卻EDX檢測裝置周圍環境的冷卻裝置。本發明通過在腔體內加裝EDX檢測裝置，在銅銦鎵硒柔性薄膜生產時進行檢測，可以及時發現蒸鍍過程中出現的問題，及時進行工藝調整。提高了銅銦鎵硒的成品率。本發明所提供的柔性薄膜生產線實現了對銅銦鎵硒柔性薄膜的線上檢測，提高了銅銦鎵硒柔性薄膜的成品率，提高了銅銦鎵硒柔性薄膜的生產效率。

技術領域

本發明涉及新能源制造技術領域，更具體地說，涉及一種柔性薄膜測試裝置。此外，本發明還涉及一種包括上述柔性薄膜測試裝置的柔性薄膜生產線。

背景技術

目前，在銅銦鎵硒測試手段上普遍采用EDX線下測試和手持式EDX設備等兩種方案，線下測試指的是在非真空狀態下進行測試，手持式EDX只能對局部銅銦鎵硒樣品進行檢測，所以現有方案有著很大的局限性，例如銅銦鎵硒蒸發環境具有不可重復性，共蒸發需要加熱、穩定蒸發源、降溫等工序時間較長。

EDX線下測試：銅銦鎵硒制作完成后需要進行裁切等方式進行測試，不僅時間較長，數據處理同樣需要時間。針對銅銦鎵硒生產研發中存在較多不穩定因素以及蒸發環境不可重復性。因此也會導致生產資源、物料、人力、時間、和后續工序等一系列工作極大浪費。

綜上所述，如何實現銅銦鎵硒柔性材料在真空狀態下進行檢測，是目前本領域技術人員亟待解決的問題。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的是提供一種可以在線檢測銅銦鎵硒柔性薄膜的柔性薄膜測試裝置。

本發明的另一目的是提供一種包括上述柔性薄膜測試裝置的柔性薄膜生產線。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種柔性薄膜測試裝置，包括：用于傳輸銅銦鎵硒柔性薄膜的腔體，所述腔體的兩側分別設有用于傳輸銅銦鎵硒柔性薄膜的進口和出口，所述腔體內設有用于支撐并導向銅銦鎵硒柔性薄膜的導向輥，所述腔體的內壁上設有用于檢測銅銦鎵硒柔性薄膜的EDX檢測裝置，所述腔體內設有用于冷卻EDX檢測裝置周圍環境的冷卻裝置。

優選地，所述腔體正對所述導向輥導向的銅銦鎵硒柔性薄膜的側壁上設有開口，所述開口上設有可開閉的門板，所述門板的內壁上設有朝向所述導向輥凸起的加長腔，所述加長腔正對所述導向輥導向的銅銦鎵硒柔性薄膜的外壁上設有向所述加長腔內部凹陷的凹陷部，所述凹陷部上設有兩個通孔，所述EDX檢測裝置的X射線頭和探測器頭分別安裝于兩個通孔內。

優選地，所述凹陷部的外側設有防塵透明板，所述防塵透明板與所述凹陷部之間設有防塵罩。

優選地，所述檢測器頭通過密封法蘭設置于所述通孔內。

優選地，所述加長腔包括安裝于所述開口內側端面的加長筒，所述加長筒的內側端設有密封板，所述凹陷部設置于所述密封板上。

優選地，所述門板內設有冷卻腔室，所述冷卻腔室與所述加長腔連通。

優選地，所述冷卻腔室內設有冷卻管，所述冷卻管的中部安裝于所述開口的外側端面上。

優選地，所述導向輥設置于所述密封板正對的所述腔體的內壁上，所述冷卻裝置為設置于所述導向輥外側的隔熱層，所述隔熱層的兩端連接于所述門板所在的所述腔體的內壁，所述隔熱層的兩側分別設有用于隔離銅銦鎵硒柔性薄膜的、且連通于所述隔熱層內部的隔熱筒，兩個所述隔熱筒分別連接于所述進口和出口。