[發明專利]一種柔性薄膜測試裝置及柔性薄膜生產線

在審

• 申請號: 202010120846.4
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN111272798A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 朱家暢;張衛衛;朱家寬;高錦龍;劉杰鵬
• 申請（專利權）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號: G01N23/227
• 分類號: G01N23/227;G01N23/223
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 孔祥貴

1.一種柔性薄膜測試裝置，其特征在于，包括：用于傳輸銅銦鎵硒柔性薄膜(9)的腔體，所述腔體的兩側分別設有用于傳輸銅銦鎵硒柔性薄膜(9)的進口和出口，所述腔體內設有用于支撐并導向銅銦鎵硒柔性薄膜(9)的導向輥(22)，所述腔體的內壁上設有用于檢測銅銦鎵硒柔性薄膜(9)的EDX檢測裝置，所述腔體內的溫度高于所述EDX檢測裝置的正常工作溫度時，所述腔體內設有用于冷卻EDX檢測裝置周圍環境的冷卻裝置，所述腔體上設有用于將所述腔體內抽真空的負壓系統。

2.根據權利要求1所述的柔性薄膜測試裝置，其特征在于，所述腔體正對所述導向輥(22)導向的銅銦鎵硒柔性薄膜(9)的側壁上設有開口，所述開口上設有可開閉的門板(8)，所述門板(8)的內壁上設有朝向所述導向輥(22)凸起的加長腔，所述加長腔正對所述導向輥(22)導向的銅銦鎵硒柔性薄膜(9)的外壁上設有向所述加長腔內部凹陷的凹陷部(13)，所述凹陷部(13)上設有兩個通孔，所述EDX檢測裝置的X射線頭(11)和探測器頭(12)分別安裝于兩個通孔內。

3.根據權利要求2所述的柔性薄膜測試裝置，其特征在于，所述凹陷部(13)的外側設有防塵透明板(15)，所述防塵透明板(15)與所述凹陷部(13)之間設有防塵罩(16)。

4.根據權利要求2所述的柔性薄膜測試裝置，其特征在于，所述檢測器頭(12)通過密封法蘭(18)設置于所述通孔內。

5.根據權利要求2所述的柔性薄膜測試裝置，其特征在于，所述加長腔包括安裝于所述開口內側端面的加長筒(14)，所述加長筒(14)的內側端設有密封板(10)，所述凹陷部(13)設置于所述密封板(10)上。

6.根據權利要求2所述的柔性薄膜測試裝置，其特征在于，所述門板(8)設有冷卻管(17)，所述冷卻管(17)的中部安裝于所述開口的外側端面上。

7.根據權利要求6所述的柔性薄膜測試裝置，其特征在于，所述導向輥(22)設置于所述密封板(10)正對的所述腔體的內壁上，所述冷卻裝置為設置于所述導向輥(22)外側的隔熱層(23)，所述隔熱層(23)的一端連接于所述門板(8)所在的所述腔體的內壁，另一端連接于用于安裝導向輥(22)的支座(21)外側的所述腔體的內壁上，所述隔熱層(23)的兩側分別設有用于隔離銅銦鎵硒柔性薄膜(9)的、且連通于所述隔熱層(23)內部的隔熱筒(19)，兩個所述隔熱筒(19)分別連接于所述進口和出口。

8.一種柔性薄膜生產線，包括若干蒸發腔(4)和若干轉角腔(3)交錯連接的環形線，所述環形線的兩端均為轉角腔(3)，所述環形線的一端的所述轉角腔(3)連通于所述冷卻腔(2)，所述冷卻腔(2)與收料腔(1)連通，所述環形線的另一端的所述轉角腔(3)連通于預熱腔(5)，所述預熱腔(5)的另一端連通于放料腔(6)，所述收料腔(1)、所述冷卻腔(2)、所述轉角腔(3)、所述蒸發腔(4)、所述預熱腔(5)與所述放料腔(6)上均設有負壓系統，所有所述負壓系統均與負壓裝置(7)連接，其特征在于，所述收料腔(1)、所述冷卻腔(2)和所述轉角腔(3)均為權利要求1至7任意一項所述的柔性薄膜測試裝置。