[發明專利]墨液液滴體積測量裝置及薄膜層形成裝置

在審

• 申請號: 202010119840.5
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN112097674A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 韓政洹
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/00;B05B13/00;B05B12/08
• 代理公司: 北京金宏來專利代理事務所(特殊普通合伙) 11641
• 代理人: 樸英淑

本發明的一實施例公開了一種墨液液滴體積測量裝置及薄膜層形成裝置。該墨液液滴體積測量裝置包括：基板，向該基板投放墨液液滴；彩色共焦傳感器，向投放至基板的墨液液滴照射多個波長的光的同時進行掃描；以及控制器，根據彩色共焦傳感器掃描的信號，求出墨液液滴的三維形狀。

技術領域

本發明涉及墨液液滴體積測量裝置及利用其的墨液液滴體積測量方法、利用該墨液液滴體積測量裝置的薄膜層形成裝置以及利用所述薄膜層形成裝置的顯示裝置的制造方法。

背景技術

例如，如有機發光顯示裝置這樣的顯示裝置以在陽極和陰極注入的空穴和電子在發光層再次結合而發光的原理生成光來實現圖像，例如，具備以紅色、綠色以及藍色中的某一顏色發光的像素，根據它們的顏色組合來表現出期望的顏色。

為此，在各像素，具備生成如白色或者藍色這樣的單色光的有機發光元件、作為用于將該單色光轉換成紅色、綠色以及藍色之中的期望的顏色來射出光的光控制單元的量子點(Quantum Dot)薄膜層以及濾色器(Color Filter)等。即，若各像素的有機發光元件生成單色光，則該單色光通過量子點薄膜層和濾色器的同時被轉換成紅色、綠色以及藍色中的一種顏色，從而被射出，根據這樣以適當的顏色射出的像素的顏色組合，實現期望的顏色的圖像。

所述量子點薄膜層在噴墨打印中投放墨液液滴來形成，此時，若墨液液滴過大，則可能會超出其位置而產生斑點，若墨液液滴過小，則無法執行光控制單元的功能。

因此，需正確測量墨液液滴的大小來進行反饋，從而保證噴出量，才能精密地形成量子點薄膜層，但是在現有技術中使用了如下方式：測量所投放的墨液液滴的一個底面的寬度，由此以大致的推定值計算出墨液液滴的體積。但是，這種方式只能使與實際的墨液液滴的體積之間的誤差變大，無法實現精密的控制。

發明內容

因此，本發明的實施例提供一種改善成更準確地測量實際的墨液液滴的體積來反映到控制中的墨液液滴體積測量裝置、利用該墨液液滴體積測量裝置的墨液液滴體積測量方法、有效利用了墨液液滴體積測量裝置的薄膜層形成裝置以及利用了所述薄膜層形成裝置的顯示裝置的制造方法。

本發明的實施例提供一種墨液液滴體積測量裝置，包括：基板，向該基板投放墨液液滴；彩色共焦傳感器，向投放到所述基板的所述墨液液滴照射多個波長的光的同時進行掃描；以及控制器，根據所述彩色共焦傳感器掃描的信號求出所述墨液液滴的三維形狀。

可以向所述基板投放多個所述墨液液滴。

所述彩色共焦傳感器可以掃描多個所述墨液液滴，所述控制器可以求出針對多個所述墨液液滴各自的三維形狀。

所述墨液液滴可以含有納米粒子。

所述墨液液滴可以包括量子點薄膜層形成用墨液。

另外，本發明的實施例提供一種薄膜層形成裝置，包括：噴墨頭，具備投放墨液液滴的噴嘴；基板，向該基板投放所述墨液液滴；彩色共焦傳感器，向投放到所述基板的所述墨液液滴照射多個波長的光的同時進行掃描；以及控制器，根據所述彩色共焦傳感器掃描的信號求出所述墨液液滴的三維形狀來對所述噴墨頭的噴嘴的噴出量進行反饋控制。

可以具備多個所述噴嘴，并且多個所述噴嘴可以向所述基板投放多個所述墨液液滴。

所述彩色共焦傳感器可以掃描多個所述墨液液滴，所述控制器可以求出針對多個所述墨液液滴各自的三維形狀來對各個所述噴嘴的噴出量進行反饋控制。

所述墨液液滴可以含有納米粒子。

所述墨液液滴可以包含量子點薄膜層形成用墨液。