[發明專利]墨液液滴體積測量裝置及薄膜層形成裝置在審
| 申請號： | 202010119840.5 | 申請日： | 2020-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN112097674A | 公開（公告）日： | 2020-12-18 |
| 發明（設計）人： | 韓政洹 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01B11/00;B05B13/00;B05B12/08 |
| 代理公司： | 北京金宏來專利代理事務所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 樸英淑 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 墨液液滴 體積 測量 裝置 薄膜 形成 | ||
1.一種墨液液滴體積測量裝置，包括：
基板，向該基板投放墨液液滴；
彩色共焦傳感器，向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多個波長的光的同時進行掃描；以及
控制器，根據所述彩色共焦傳感器掃描的信號，求出所述墨液液滴的三維形狀。
2.根據權利要求1所述的墨液液滴體積測量裝置，其中，
向所述基板投放多個所述墨液液滴。
3.根據權利要求2所述的墨液液滴體積測量裝置，其中，
所述彩色共焦傳感器掃描多個所述墨液液滴，
所述控制器求出針對多個所述墨液液滴各自的三維形狀。
4.根據權利要求1所述的墨液液滴體積測量裝置，其中，
所述墨液液滴含有納米粒子。
5.根據權利要求4所述的墨液液滴體積測量裝置，其中，
所述墨液液滴包括量子點薄膜層形成用墨液。
6.一種薄膜層形成裝置，包括：
噴墨頭，具備投放墨液液滴的噴嘴；
基板，向該基板投放所述墨液液滴；
彩色共焦傳感器，向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多個波長的光的同時進行掃描；以及
控制器，根據所述彩色共焦傳感器掃描的信號求出所述墨液液滴的三維形狀，由此對所述噴墨頭的噴嘴的噴出量進行反饋控制。
7.根據權利要求6所述的薄膜層形成裝置，其中，
具備多個所述噴嘴，并且多個所述噴嘴向所述基板投放多個所述墨液液滴。
8.根據權利要求7所述的薄膜層形成裝置，其中，
所述彩色共焦傳感器掃描多個所述墨液液滴，
所述控制器求出針對多個所述墨液液滴各自的三維形狀，并對各所述噴嘴的噴出量進行反饋控制。
9.根據權利要求6所述的薄膜層形成裝置，其中，
所述墨液液滴含有納米粒子。
10.根據權利要求9所述的薄膜層形成裝置，其中，
所述墨液液滴包括量子點薄膜層形成用墨液。
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