[發(fā)明專利]納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法以及感應(yīng)器

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010112447.3
• 申請日: 2020-02-24
• 公開（公告）號: CN113299686A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程志政;孟鍇
• 申請（專利權(quán)）人: 南昌歐菲顯示科技有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32
• 代理公司: 北京景聞知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11742
• 代理人: 賈玉姣

1.一種納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，包括：

選取透明基材，所述透明基材的表面為極性表面；

在所述透明基材的極性表面制作導(dǎo)電線路；

在所述極性表面布置透明光阻；

將所述透明光阻曝光顯影，制作成需要的圖形；

將納米銀線墨水涂在所述極性表面，使其在非光阻的區(qū)域形成納米銀線圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的選取透明基材，所述透明基材的表面為極性表面的步驟包括：

選取表面為極性基團材質(zhì)的透明基材，具有所述極性基團材質(zhì)的表面為所述極性表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的選取透明基材，所述透明基材的表面為極性表面的步驟包括：

選取透明基材，在所述透明基材的表面涂布一層極性涂層，所述極性涂層為所述極性表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述極性涂層包括含有羧酸、酚類、醇類、胺類或硫醇類基團之一或組合的化合物。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的在所述透明基材的極性表面制作導(dǎo)電線路的步驟包括：

在所述極性表面真空蒸鍍一層銅；

將該層銅制作成銅線路，所述銅線路為所述導(dǎo)電線路。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的在所述極性表面真空蒸鍍一層銅步驟包括：

在所述極性表面真空蒸鍍10-300nm厚度的一層銅。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的在所述極性表面布置透明光阻的步驟包括：

在所述極性表面熱壓或涂布一層所述透明光阻。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的在所述極性表面布置透明光阻的步驟還包括：

將所述透明光阻的表面設(shè)置為非極性表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的將所述透明光阻的表面設(shè)置為非極性表面的步驟包括：

選取表面為非極性基材的所述透明光阻。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的將所述透明光阻的表面設(shè)置為非極性表面的步驟包括：

在所述透明光阻的表面涂布一層非極性涂層，所述非極性涂層為所述非極性表面。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述非極性涂層包括含有烷烴、烯烴、醚類、硝基化合物、二甲胺或脂類化合物。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，在所述的將納米銀線墨水涂在所述極性表面，使其在非光阻的區(qū)域形成納米銀線圖形的步驟之后，還包括：

去除所述透明光阻表面的所述納米銀線墨水。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述的去除所述透明光阻表面的所述納米銀線墨水的步驟包括：

利用保護膜粘除所述透明光阻表面的所述納米銀線墨水。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米銀線透明導(dǎo)電材料的圖形化方法，其特征在于，所述透明基材包括PI、COP、COC、PC、PET和玻璃材質(zhì)中的至少一種。