[發明專利]一種噴頭、噴墨打印系統及基板處理方法

有效

• 申請號: 202010112077.3
• 申請日: 2020-02-24
• 公開（公告）號: CN111267492B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 任華進
• 申請（專利權）人: 納晶科技股份有限公司
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/01;B41J29/26
• 代理公司: 寧波聚禾專利代理事務所(普通合伙) 33336
• 代理人: 顧賽喜;糜婧

本發明公開了一種噴頭、噴墨打印系統及基板處理方法，噴頭包括第一出液通道、第一出液口以及除膜單元，第一出液口連通第一出液通道，第一出液通道流通第一溶液，第一溶液流向基板，得以在基板上形成膜層，除膜單元設有第二出液通道、第二出液口、回吸通道和回吸口，第二出液口連通第二出液通道，回吸口連通回吸通道，第二出液通道流通第二溶液，第二溶液得以溶解第一溶液形成的膜層，回吸通道用于回吸基板上形成的溶解液。從而，噴頭兼具打印和除膜功能，不影響打印的基礎上，得以快速對有缺陷的膜層進行清洗，及時修復基板。

技術領域

本發明涉及噴墨打印技術領域，具體地說，是一種兼具打印和除膜的噴頭、噴墨打印系統及其對基板的處理方法。

背景技術

噴墨打印設備，一般由控制系統、運動系統、CCD定位系統、打印系統等系統組成。其中運動系統的基部采用穩定性高的大理石作為機座，機座上面安裝有通過計算機控制的X軸線性電機和Y軸線性電機，X軸電機或Y軸電機上面連接安裝有打印噴頭，打印平臺平衡于水平面，通過控制高精度直線電機來完成打印平臺的高精度水平運動。

在打印電致發光器件時，先通過人工將清洗干凈的TFT玻璃或已做了部分膜層的TFT玻璃放置到真空吸附平臺，再通過真空吸附玻璃，CCD相機進行拍照定位，隨后伺服電機將吸附平臺(含TFT玻璃)移至打印噴頭下方，正對需打印的子像素，通過噴墨噴頭噴出墨滴，打印完一個子像素后，X、Y伺服平臺移動帶動TFT玻璃移動，讓下一個要打印的子像素移動到噴墨噴頭正下方，然后噴出墨滴，重復以上工作，直至打印完整個幅面。

目前的噴墨打印設備都只有噴墨打印的功能，如果在打印器件過程中或檢查過程中發現了某個像素點出現缺陷，只能把整張TFT玻璃上已打印完成的有機膜進行全部清洗，再對整面進行重新打印，造成物料和打印時間的浪費，影響生產效率，增加生產成本。

另外，打印電致發光器件中的功能層(如空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層、電子注入)一般使用夾縫涂布設備整面成膜，一旦出現打印缺陷，需要去除封裝區域與綁定區域的有機膜，否則會影響封裝效果和綁定效果，甚至影響產品的所用壽命。

發明內容

本發明的一個目的在于提供一種噴頭，通過對打印噴頭進行結構改進，克服現有技術的不足，使得噴頭兼具打印和除膜功能，從而通過所述噴頭高精度地選擇性去除指定位置的膜層或只去除某個缺陷像素內的膜層，避免物料和時間的浪費，提高生產效率。

本發明的另一個目的在于提供一種噴墨打印系統，其不需要對整個噴墨打印系統進行重大改變，結構簡單，降低相關制造成本，

本發明的另一個目的在于提供一種基于噴墨打印系統對基板的處理方法，其針對缺陷像素膜層進行及時清洗，再重新打印修復，不需要對全部打印完成的有機膜進行整面清洗，降低修復成本。

為達到以上目的，本發明采用的技術方案為：一種噴頭包括第一出液通道、第一出液口以及除膜單元，所述第一出液口連通所述第一出液通道，所述除膜單元設有第二出液通道、第二出液口、回吸通道和回吸口，所述第二出液口連通所述第二出液通道，所述回吸口連通所述回吸通道。

進一步優選地，所述除膜單元包括至少一個所述第二出液口和至少一個所述回吸口，各所述回吸口和各所述第二出液口相鄰設置。

進一步優選地，所述第二出液口和所述回吸口成對地排列于所述噴頭的一部分區域，所述第一出液口排列于所述噴頭的剩余部分區域。

進一步優選地，所述第一出液口與所述回吸口的高度差為0～200μm；優選地，所述第二出液口和所述第一出液口高于所述回吸口，所述第一出液口與所述回吸口的高度差為100～150μm。

一種噴墨打印系統包括如上任一所述的噴頭。

進一步優選地，所述噴墨打印系統進一步包括：