[發(fā)明專利]組裝治具套件及半導(dǎo)體模塊的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010110969.X
• 申請(qǐng)日: 2020-02-24
• 公開（公告）號(hào): CN111834272A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大西一永;橫山岳;丸山昌希
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/67;H01L21/50
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 楊敏;金玉蘭

1.一種組裝治具套件，其特征在于，其是具有多個(gè)半導(dǎo)體芯片的半導(dǎo)體模塊的組裝治具套件，其具備：

第一外框治具；以及

多個(gè)內(nèi)片治具，其被所述第一外框治具定位，且具有與所述第一外框治具對(duì)應(yīng)的分割形狀，

所述多個(gè)內(nèi)片治具中的至少一個(gè)內(nèi)片治具具有用于對(duì)所述多個(gè)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行定位的多個(gè)開口部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組裝治具套件，其特征在于，所述多個(gè)內(nèi)片治具具有：

主體部，其設(shè)置有所述多個(gè)開口部；以及

外側(cè)突起部，其從所述主體部延伸，用于卡掛地安裝于所述第一外框治具。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組裝治具套件，其特征在于，所述外側(cè)突起部設(shè)置于與所述多個(gè)開口部中的一個(gè)開口部對(duì)置的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的組裝治具套件，其特征在于，所述多個(gè)內(nèi)片治具的所述多個(gè)開口部具有用于對(duì)所述多個(gè)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行定位的內(nèi)側(cè)突起部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的組裝治具套件，其特征在于，所述多個(gè)內(nèi)片治具具有第一內(nèi)片治具和第二內(nèi)片治具，

所述第一內(nèi)片治具具有三條邊被所述第一內(nèi)片治具的主體部劃定且一條邊被所述第二內(nèi)片治具的主體部劃定的開口部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的組裝治具套件，其特征在于，所述多個(gè)內(nèi)片治具在彼此相鄰的端部具有防止干擾用的錐部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的組裝治具套件，其特征在于，所述組裝治具套件還具備第二外框治具，所述第二外框治具對(duì)用于搭載所述多個(gè)半導(dǎo)體芯片的絕緣基板進(jìn)行定位，并與所述第一外框治具重疊，

所述第二外框治具具有用于與所述第一外框治具位置對(duì)準(zhǔn)的定位部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的組裝治具套件，其特征在于，所述多個(gè)內(nèi)片治具具有位置識(shí)別用的識(shí)別標(biāo)記。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的組裝治具套件，其特征在于，所述組裝治具套件還具備對(duì)所述多個(gè)內(nèi)片治具之間進(jìn)行分隔的隔板，

所述隔板具有用于卡掛地安裝于所述第一外框治具的安裝部。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的組裝治具套件，其特征在于，所述隔板的材料是與所述第一外框治具和所述多個(gè)內(nèi)片治具不同的材料。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的組裝治具套件，其特征在于，所述第一外框治具和所述多個(gè)內(nèi)片治具的材料為碳，

所述隔板的材料為碳纖維復(fù)合材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組裝治具套件，其特征在于，所述多個(gè)內(nèi)片治具包括一對(duì)第一內(nèi)片治具和第二內(nèi)片治具，

所述一對(duì)第一內(nèi)片治具和第二內(nèi)片治具具有能夠插入到所述第一外框治具的開口部的外形。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的組裝治具套件，其特征在于，所述第一內(nèi)片治具和所述第二內(nèi)片治具均具有：

主體部，其設(shè)置有至少一個(gè)用于對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行定位的開口部；以及

外側(cè)突起部，其從所述主體部延伸，用于卡掛到所述第一外框治具的開口部的邊緣。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的組裝治具套件，其特征在于，所述外側(cè)突起部設(shè)置在與所述第一內(nèi)片治具和所述第二內(nèi)片治具的開口部中的一個(gè)開口部對(duì)置的位置。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的組裝治具套件，其特征在于，在所述第一內(nèi)片治具中，設(shè)置于所述主體部的開口部在俯視時(shí)具有四條邊，其中三條邊被所述第一內(nèi)片治具的主體部劃定，一條邊被所述第二內(nèi)片治具的主體部劃定。