[發明專利]一種提高測試流效率的半導體自動測試設備及測試方法

在審

• 申請號: 202010107641.2
• 申請日: 2020-02-21
• 公開（公告）號: CN111381142A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 曾海燕
• 申請（專利權）人: 上海御渡半導體科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;尹一凡

一種提高測試流效率的半導體自動測試裝置及測試方法，該方法包括建庫步驟和測試步驟；建庫步驟包括在數據庫中建立測試項數據表和測試類型數據表，測試項數據表為以測試項為維度的存儲有每個測試項數據的表，根據測試類型選擇測試項模板，以新建測試類型數據表中的測試項數據；測試步驟包括接收從設備端所需測試的測試類型要求，根據測試類型所對應的測試項數據表中的測試項ID或測試項名稱Name，獲取所需的測試項數據；以及將測試項數據所對應指向一個信息及代碼文件，發送給設備端。

技術領域

本發明涉及半導體自動測試設備(Automatic Test Equipment，簡稱ATE)領域，尤其涉及一種提高測試流效率的半導體自動測試設備及測試方法。

背景技術

在半導體電子元器件(Device)的制造工藝過程中，需要各種測試試驗設備，這類設備就是所謂的半導體自動測試設備ATE。半導體自動測試設備ATE存在于前道工序(FrontEnd)和后道工序(Back End)的各個環節，具體的取決于工藝(Process)設計的要求。

半導體自動測試的測試類型通常分為幾個部分，以下列出常用的幾個：

①.DC測試：驗證被測芯片的電壓及電流參數是否符合規格要求；

②.Functional測試：驗證芯片內部一系列邏輯功能操作的正確性；

③.AC測試：保證芯片能在特定的時間約束內完成邏輯操作。

在半導體自動化測試中，測試項是基礎，所有的測試內容都依賴于測試工程中的各個測試項內容。然而，目前創建新測試項代碼文件的方式有兩種，一種為提供一個固定內容的單一測試項模板，基于該模板生成測試項對應的代碼文件。而本領域技術人員清楚，一個測試工程包含了大量的測試項，每個測試項包含了大量的測試內容點，用一個模板生成測試項的內容單一，且需要去重新實現每個測試項，花費大量的精力去編寫大量的代碼，代碼編寫工作量大，且所有的代碼需要重新驗證，測試內容多，后續還要重新驗證這個測試項是否可。

在半導體自動化測試中，還有一種創建新測試項生成代碼文件的方式。該種方式了單一模板，根據測試類型的不同，可以選擇不同的模板生成測試項，但是該種方式還是存在上述文中所提到的單一模板問題，即雖然模板擴展至幾種，但模板提供的信息還是相對來說比較少，每個測試項還是需要編寫大量代碼。

發明內容

本發明的目的在于提供一種提高測試流效率的半導體自動測試設備及測試方法，其通過使用已存在的測試項，減少測試項代碼編寫量，降低代碼編寫難度，減少測試驗證時間，解決半導體自動化測試中生成測試項的代碼文件內容單一的問題。

為實現上述目的，本發明的技術方案如下：

一種提高測試流效率的半導體自動測試裝置，其包括：

設備端，包括多個分布式板卡；

數據庫，至少包括測試項數據表和測試類型數據表，所述測試項數據表為以測試項為維度的存儲有每個測試項數據的表，所述測試類型數據表用于存儲測試類型ID和測試類型名稱Name的數據；其中，每個測試項數據包括測試項ID、測試項名稱Name和測試類型的數據；

測試流工具，分別與設備端和數據庫相連，用于根據設備端所需測試的測試類型要求，管理存儲于所述數據庫中的測試項數據以完成發送給所述設備端的所述測試項的代碼文件，其包括：

常規功能模塊，用于根據所述測試類型選擇測試項模板，以新建所述測試類型數據表中的測試項數據；

擴展功能模塊，其包括提取單元，所述提取單元根據所述測試類型所對應的所述測試項數據表中的所述測試項ID或測試項名稱Name，獲取所需的測試項數據；

生成模塊，用于將所述測試項數據所對應指向一個信息及代碼文件，發送給所述設備端。