[發(fā)明專利]一種金屬掩膜條、金屬掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010106326.8
• 申請(qǐng)日: 2020-02-21
• 公開（公告）號(hào): CN111188008B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣謙;陳永勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

本發(fā)明提供一種金屬掩膜條、金屬掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩，該金屬掩膜條包括：包括至少兩個(gè)掩膜子部，所述掩膜子部包括：不透光區(qū)域，設(shè)于所述金屬掩膜條的其中一端；復(fù)用區(qū)域，位于所述金屬掩膜條的長(zhǎng)度的預(yù)設(shè)分界線的設(shè)定側(cè)，所述設(shè)定側(cè)與所述不透光區(qū)域位于同一側(cè)；至少一透光區(qū)域，所述透光區(qū)域位于所述不透光區(qū)域和所述復(fù)用區(qū)域之間。本發(fā)明的金屬掩膜條、金屬掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩，能夠提高生產(chǎn)效率以及降低生產(chǎn)成本。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種金屬掩膜條、金屬掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩。

【背景技術(shù)】

顯示面板的制作過程中不可避免地使用真空蒸鍍技術(shù)，真空蒸鍍技術(shù)中需要使用金屬掩膜板，金屬掩膜板包括金屬掩膜條。

目前的金屬掩膜條的寬度由顯示面板的寬度決定，金屬掩膜條的長(zhǎng)度通常固定。顯示面板的研發(fā)過程和批量生產(chǎn)通常分離，顯示面板的研發(fā)過程中使用研發(fā)線，研發(fā)線重點(diǎn)在于產(chǎn)品的多樣性(不同尺寸、不同像素、不同功能)開發(fā)和驗(yàn)證；批量生產(chǎn)中使用量產(chǎn)線，量產(chǎn)線用于批量生產(chǎn)出指定型號(hào)的顯示面板。然而研發(fā)線和量產(chǎn)線的金屬掩膜條的長(zhǎng)度不同，且研發(fā)用金屬掩膜條和量產(chǎn)用金屬掩膜條彼此獨(dú)立，技術(shù)上無法兼容，因此需要分開制作，從而降低了生產(chǎn)效率，此外還增加了生產(chǎn)成本。

因此，有必要提供一種金屬掩膜條、金屬掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明的目的在于提供一種金屬掩膜條、金屬掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩，能夠提高生產(chǎn)效率以及降低生產(chǎn)成本。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種金屬掩膜條，包括至少兩個(gè)掩膜子部，所述掩膜子部包括：

不透光區(qū)域，設(shè)于所述金屬掩膜條的其中一端；

復(fù)用區(qū)域，位于所述金屬掩膜條的長(zhǎng)度的預(yù)設(shè)分界線的設(shè)定側(cè)，所述設(shè)定側(cè)與所述不透光區(qū)域位于同一側(cè)；

至少一透光區(qū)域，所述透光區(qū)域位于所述不透光區(qū)域和所述復(fù)用區(qū)域之間。

本發(fā)明還提供一種金屬掩膜板，包括：多個(gè)上述金屬掩膜條。

本發(fā)明還提供一種金屬掩膜板的制作方法，包括：

制備金屬掩膜條；其包括至少兩個(gè)掩膜子部，所述掩膜子部包括：不透光區(qū)域，設(shè)于所述金屬掩膜條的其中一端；復(fù)用區(qū)域，位于所述金屬掩膜條的長(zhǎng)度的預(yù)設(shè)分界線的設(shè)定側(cè)，所述設(shè)定側(cè)與所述不透光區(qū)域位于同一側(cè)；至少一透光區(qū)域，所述透光區(qū)域位于所述不透光區(qū)域和所述復(fù)用區(qū)域之間；

沿所述預(yù)設(shè)分界線對(duì)所述金屬掩膜條進(jìn)行切割，形成多個(gè)掩膜子部，將所述掩膜子部焊接在支撐架上，形成第一長(zhǎng)度的金屬掩膜板；

和/或?qū)⑺鼋饘傺谀l焊接在支撐架上，形成第二長(zhǎng)度的金屬掩膜板；所述第二長(zhǎng)度大于所述第一長(zhǎng)度。

本發(fā)明還提供一種玻璃光罩，其中所述玻璃光罩用于制作金屬掩膜條，其中所述金屬掩膜條包括至少兩個(gè)掩膜子部，所述掩膜子部包括：不透光區(qū)域，設(shè)于所述金屬掩膜條的其中一端；復(fù)用區(qū)域，位于所述金屬掩膜條的長(zhǎng)度的預(yù)設(shè)分界線的設(shè)定側(cè)，所述設(shè)定側(cè)與所述不透光區(qū)域位于同一側(cè)；至少一透光區(qū)域，所述透光區(qū)域位于所述不透光區(qū)域和所述復(fù)用區(qū)域之間；

所述玻璃光罩包括圖案區(qū)域和非圖案區(qū)域，其中所述圖案區(qū)域與所述透光區(qū)域和所復(fù)用區(qū)域的位置對(duì)應(yīng)，所述非圖案區(qū)域與所述不透光區(qū)域的位置對(duì)應(yīng)。