[發(fā)明專利]一種金屬掩膜條、金屬掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩

有效

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• 申請日: 2020-02-21
• 公開（公告）號: CN111188008B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設計）人: 蔣謙;陳永勝
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

1.一種金屬掩膜條，其特征在于，可切割的預設分界線將所述金屬掩膜條分為至少兩個掩膜子部，所述掩膜子部包括：

不透光區(qū)域，設于所述金屬掩膜條的其中一端；

復用區(qū)域，位于所述金屬掩膜條的長度的預設分界線的設定側，所述設定側與所述不透光區(qū)域位于同一側；

至少一透光區(qū)域，所述透光區(qū)域位于所述不透光區(qū)域和所述復用區(qū)域之間。

2.根據(jù)權利要求1所述的金屬掩膜條，其特征在于，

所述金屬掩膜條包括兩個掩膜子部，其中一個所述掩膜子部位于所述金屬掩膜條的其中一側，另外所述掩膜子部位于所述金屬掩膜條的另外一側。

3.根據(jù)權利要求2所述的金屬掩膜條，其特征在于，兩個所述掩膜子部的長度相等。

4.根據(jù)權利要求1所述的金屬掩膜條，其特征在于，

所述金屬掩膜條用于第一產(chǎn)線時，所述復用區(qū)域為不透光區(qū)域；

所述金屬掩膜條用于第二產(chǎn)線時，所述復用區(qū)域為透光區(qū)域。

5.根據(jù)權利要求1所述的金屬掩膜條，其特征在于，

所述不透光區(qū)域的設定端部設置有第一開口，所述復用區(qū)域中與所述設定端部對置的端部設置有第二開口，所述第一開口的位置與所述第二開口的位置對應。

6.根據(jù)權利要求1所述的金屬掩膜條，其特征在于，

所述預設分界線包括二分之一分界線。

7.一種金屬掩膜板，其特征在于，包括：多個如權利要求1至6任意一項所述的金屬掩膜條。

8.一種金屬掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：

制備金屬掩膜條；其包括至少兩個掩膜子部，所述掩膜子部包括：不透光區(qū)域，設于所述金屬掩膜條的其中一端；復用區(qū)域，位于所述金屬掩膜條的長度的預設分界線的設定側，所述設定側與所述不透光區(qū)域位于同一側；至少一透光區(qū)域，所述透光區(qū)域位于所述不透光區(qū)域和所述復用區(qū)域之間；

沿所述預設分界線對所述金屬掩膜條進行切割，形成多個掩膜子部，將所述掩膜子部焊接在支撐架上，形成第一長度的金屬掩膜板；

和/或?qū)⑺鼋饘傺谀l焊接在所述支撐架上，形成第二長度的金屬掩膜板；所述第二長度大于所述第一長度。

9.一種玻璃光罩，其特征在于，其中所述玻璃光罩用于制作金屬掩膜條，其中可切割的預設分界線將所述金屬掩膜條分為至少兩個掩膜子部，所述掩膜子部包括：不透光區(qū)域，設于所述金屬掩膜條的其中一端；復用區(qū)域，位于所述金屬掩膜條的長度的預設分界線的設定側，所述設定側與所述不透光區(qū)域位于同一側；至少一透光區(qū)域，所述透光區(qū)域位于所述不透光區(qū)域和所述復用區(qū)域之間；

所述玻璃光罩包括圖案化區(qū)域和非圖案化區(qū)域，其中所述圖案化區(qū)域與所述透光區(qū)域和所復用區(qū)域的位置對應，所述非圖案化區(qū)域與所述不透光區(qū)域的位置對應。

10.根據(jù)權利要求9所述的玻璃光罩，其特征在于，

第一產(chǎn)線所采用的金屬掩膜條和第二產(chǎn)線所采用的金屬掩膜條均是通過采用所述玻璃光罩制得的。