[發(fā)明專利]爐體運(yùn)輸輔助裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010104576.8
• 申請日: 2020-02-20
• 公開（公告）號(hào): CN111252382B
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙宏圖
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B65D81/05
• 分類號(hào): B65D81/05
• 代理公司: 北京思創(chuàng)畢升專利事務(wù)所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

本發(fā)明公開了一種爐體運(yùn)輸輔助裝置，用于半導(dǎo)體立式爐設(shè)備的運(yùn)輸，包括：彈性充氣內(nèi)膽和內(nèi)膽底座，彈性充氣內(nèi)膽固定在所述內(nèi)膽底座上，且所述彈性充氣內(nèi)膽具有能夠容納氣體的密閉空腔以及與密閉空腔連通的充氣管和排氣管，彈性充氣內(nèi)膽在充氣狀態(tài)下能夠形成與爐體的爐膛內(nèi)壁相配合的形狀以填充爐膛。通過內(nèi)膽底座對爐體形成剛性支撐，通過彈性充氣內(nèi)膽能夠在爐體徑向上對爐體形成支撐，通過防震墊能夠在縱向?qū)t體起到減震作用，有效提高了爐體運(yùn)輸過程中保溫隔熱層的安全性和平穩(wěn)性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種爐體運(yùn)輸輔助裝置。

背景技術(shù)

晶圓的熱處理工藝是其制造過程中一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)，常規(guī)的熱處理工藝包括氧化、退火和LPCVD(低壓化學(xué)氣相沉積)等。爐體是立式爐設(shè)備的重要部件，爐體為晶圓的熱處理提供所需的高溫溫度場，爐體本身能夠承受幾百到上千度的高溫，但是爐體周邊的其他設(shè)備無法承受這種高溫，所以爐體一般設(shè)有保溫隔熱層。目前，主流的爐體保溫隔熱材料為硅酸鋁耐火纖維保溫塊，這種材料保溫隔熱效果好，但是性脆，易破碎。運(yùn)輸過程中的振動(dòng)會(huì)使保溫隔熱層的材料掉渣破碎，嚴(yán)重時(shí)會(huì)使?fàn)t體爐膛內(nèi)的爐絲位移，使整個(gè)爐體報(bào)廢。現(xiàn)有的保護(hù)手段是在爐體的爐膛內(nèi)填充泡沫以保護(hù)保溫隔熱層，但由于是只能從爐口向上填充，爐膛內(nèi)部最上端得空間無法得到有效填充，導(dǎo)致爐膛頂部的保溫隔熱材料無法得到保護(hù)，另外，泡沫的質(zhì)地較軟，在爐體遇到較劇烈震動(dòng)時(shí)，保護(hù)效果有限。

因此，需要一種穩(wěn)定可靠的爐體運(yùn)輸輔助裝置，實(shí)現(xiàn)保溫隔熱層的固定，以確保爐體能夠安全的運(yùn)輸。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提出一種爐體運(yùn)輸輔助裝置，實(shí)現(xiàn)對爐體爐膛內(nèi)保溫隔熱層的固定，避免在運(yùn)輸過程中保溫隔熱層材料的破損。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種爐體運(yùn)輸輔助裝置，用于半導(dǎo)體立式爐設(shè)備的運(yùn)輸，包括：彈性充氣內(nèi)膽和內(nèi)膽底座；所述彈性充氣內(nèi)膽固定在所述內(nèi)膽底座上，且所述彈性充氣內(nèi)膽具有能夠容納氣體的密閉空腔以及與所述密閉空腔連通的充氣管和排氣管，所述彈性充氣內(nèi)膽在充氣狀態(tài)下能夠形成與所述爐體的爐膛內(nèi)壁相配合的形狀以填充所述爐膛。

可選地，所述彈性充氣內(nèi)膽為雙層結(jié)構(gòu)，所述彈性充氣內(nèi)膽的內(nèi)層與外層之間形成所述密閉空腔，所述彈性充氣內(nèi)膽的內(nèi)層與外層之間通過絲網(wǎng)連接。

可選地，在充氣狀態(tài)下，所述彈性充氣內(nèi)膽的頂端形成向上突起的圓頂。

可選地，所述充氣管設(shè)于所述彈性充氣內(nèi)膽外壁靠近所述內(nèi)膽底座的一端，所述充氣管設(shè)有單向進(jìn)氣閥。

可選地，所述排氣管設(shè)于所述彈性充氣內(nèi)膽外壁靠近所述內(nèi)膽底座的一端，所述排氣管設(shè)有通斷閥門。

可選地，還包括防震墊，所述防震墊設(shè)置于所述彈性充氣內(nèi)膽與所述內(nèi)膽底座之間。

可選地，還包括多個(gè)調(diào)節(jié)件，所述防震墊上設(shè)有多個(gè)通孔，待運(yùn)輸?shù)臓t體的底座設(shè)置有多個(gè)螺紋孔，各所述調(diào)節(jié)件與各所述通孔一一對應(yīng)，且各所述調(diào)節(jié)件與各所述螺紋孔一一對應(yīng)，所述調(diào)節(jié)件依次穿過對應(yīng)的所述螺紋孔和所述通孔與所述內(nèi)膽底座接觸，所述調(diào)節(jié)件用于調(diào)節(jié)待運(yùn)輸?shù)乃鰻t體高度。

可選地，所述調(diào)節(jié)件包括手輪和螺栓，所述螺栓的一端與所述手輪垂直連接，所述螺栓的另一端通過滾珠與所述內(nèi)膽底座接觸。

可選地，所述彈性充氣內(nèi)膽和所述防震墊的材質(zhì)均為氯丁橡膠。

可選地，所述內(nèi)膽底座的材質(zhì)為不銹鋼。

本發(fā)明的有益效果在于：

通過設(shè)置內(nèi)膽底座能夠?qū)t體形成剛性支撐，利用彈性充氣內(nèi)膽的彈性，在充氣狀態(tài)下填充整個(gè)爐膛內(nèi)壁，并能夠給爐膛內(nèi)壁一定壓力，使設(shè)于爐膛內(nèi)的保溫材料和爐絲得到固定和保護(hù)，同時(shí)彈性充氣內(nèi)膽還能夠?qū)t膛起到一定的減震作用，有效防止?fàn)t體運(yùn)輸過程中顛簸或劇烈震動(dòng)造成的保溫隔熱材料的損壞。