[發明專利]爐體運輸輔助裝置

有效

• 申請號: 202010104576.8
• 申請日: 2020-02-20
• 公開（公告）號: CN111252382B
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 趙宏圖
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B65D81/05
• 分類號: B65D81/05
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種爐體運輸輔助裝置，用于半導體立式爐設備的運輸，其特征在于，包括：彈性充氣內膽和內膽底座；所述彈性充氣內膽固定在所述內膽底座上，且所述彈性充氣內膽具有能夠容納氣體的密閉空腔以及與所述密閉空腔連通的充氣管和排氣管，所述彈性充氣內膽在充氣狀態下能夠形成與所述爐體的爐膛內壁相配合的形狀以填充所述爐膛；

還包括防震墊，所述防震墊設置于所述彈性充氣內膽與所述內膽底座之間；

還包括多個調節件，所述防震墊上設有多個通孔，待運輸的爐體的底座設置有多個螺紋孔，各所述調節件與各所述通孔一一對應，且各所述調節件與各所述螺紋孔一一對應，所述調節件依次穿過對應的所述螺紋孔和所述通孔與所述內膽底座接觸，所述調節件用于調節待運輸的所述爐體高度。

2.根據權利要求1所述的爐體運輸輔助裝置，其特征在于，所述彈性充氣內膽為雙層結構，所述彈性充氣內膽的內層與外層之間形成所述密閉空腔，所述彈性充氣內膽的內層與外層之間通過絲網連接。

3.根據權利要求2所述的爐體運輸輔助裝置，其特征在于，在充氣狀態下，所述彈性充氣內膽的頂端形成向上突起的圓頂。

4.根據權利要求1所述的爐體運輸輔助裝置，其特征在于，所述充氣管設于所述彈性充氣內膽外壁靠近所述內膽底座的一端，所述充氣管設有單向進氣閥。

5.根據權利要求1所述的爐體運輸輔助裝置，其特征在于，所述排氣管設于所述彈性充氣內膽外壁靠近所述內膽底座的一端，所述排氣管設有通斷閥門。

6.根據權利要求1所述的爐體運輸輔助裝置，其特征在于，所述調節件包括手輪和螺栓，所述螺栓的一端與所述手輪垂直連接，所述螺栓的另一端通過滾珠與所述內膽底座接觸。

7.根據權利要求1所述的爐體運輸輔助裝置，其特征在于，所述彈性充氣內膽和所述防震墊的材質均為氯丁橡膠。

8.根據權利要求1所述的爐體運輸輔助裝置，其特征在于，所述內膽底座的材質為不銹鋼。