[發明專利]慣性傳感器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 202010103937.7
• 申請日: 2020-02-20
• 公開（公告）號: CN111595311B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 瀧澤照夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 紀秀鳳

本申請公開了一種慣性傳感器、電子設備以及移動體。慣性傳感器具有：基板；傳感器元件，設置在基板上；蓋，覆蓋所述傳感器元件，與所述基板接合；以及多個端子，位于所述蓋的外側，與所述傳感器元件電連接，所述多個端子包括：輸入端子，輸入電信號；以及檢測端子，檢測來自所述傳感器元件的信號，在將所述輸入端子與所述蓋的間隔距離設為L1，將所述檢測端子與所述蓋的間隔距離設為L2時，為L1＞L2的關系。

技術領域

本發明涉及慣性傳感器、電子設備以及移動體。

背景技術

在專利文獻1中，記載了具有交錯配置的多個鍵合焊盤的集成電路。具體而言，在設定了沿著集成電路的外緣的外側環和位于其內側的內側環時，多個鍵合焊盤具有位于外側環上的外側鍵合焊盤和位于內側環上的內側鍵合焊盤。

專利文獻1：日本特開平10-125718號公報

像這樣，在專利文獻1中記載了將鍵合焊盤交錯配置的方式，但不清楚向哪個鍵合焊盤輸入輸出怎樣的信號。例如，在MEMS傳感器的情況下，對于所輸入的驅動信號輸出的檢測信號較小。因此，檢測信號用的鍵合焊盤存在從噪聲源盡可能保持距離的課題。

發明內容

本實施方式所述的慣性傳感器，其特征在于，具有：基板；傳感器元件，設置在所述基板上；蓋，覆蓋所述傳感器元件，與所述基板接合；多個端子，位于所述蓋的外側，與所述傳感器元件電連接，所述多個端子包括：輸入端子，輸入電信號；檢測端子，檢測來自所述傳感器元件的信號，在將所述輸入端子與所述蓋的間隔距離設為L1，將所述檢測端子與所述蓋的間隔距離設為L2時，為L1＞L2的關系。

本實施方式所述的電子設備，其特征在于，具有：上述的慣性傳感器；基于來自上述慣性傳感器的檢測信號進行控制的控制電路。

本實施方式所述的移動體，其特征在于，具有：上述的慣性傳感器；基于來自上述慣性傳感器的檢測信號進行控制的控制裝置。

附圖說明

圖1是表示第一實施方式的慣性傳感器的俯視圖。

圖2是圖1中的A-A線剖視圖。

圖3是表示對X軸方向的加速度進行檢測的傳感器元件的一例的俯視圖。

圖4是表示對Y軸方向的加速度進行檢測的傳感器元件的一例的俯視圖。

圖5是表示對Z軸方向的加速度進行檢測的傳感器元件的一例的俯視圖。

圖6是表示對各傳感器元件施加的驅動電壓的一例的圖。

圖7是表示慣性傳感器的露出部的部分放大俯視圖。

圖8是表示第二實施方式的慣性傳感器的剖視圖。

圖9是表示設置在基板上的載置臺的剖視圖。

圖10是表示設置在基板上的載置臺的剖視圖。

圖11是表示第三實施方式的慣性傳感器的部分放大俯視圖。

圖12是表示第四實施方式的慣性傳感器的俯視圖。

圖13是表示對圍繞X軸的角速度進行檢測的傳感器元件的一例的俯視圖。

圖14是表示對圍繞Y軸的角速度進行檢測的傳感器元件的一例的俯視圖。

圖15是表示對圍繞Z軸的角速度進行檢測的傳感器元件的一例的俯視圖。

圖16是表示對傳感器元件施加的電壓的圖。

圖17是表示第五實施方式的慣性傳感器單元的俯視圖。

圖18是圖17所示的慣性傳感器單元的剖視圖。

圖19是表示第六實施方式的智能手機的俯視圖。