[發明專利]慣性傳感器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 202010103937.7
• 申請日: 2020-02-20
• 公開（公告）號: CN111595311B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 瀧澤照夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 紀秀鳳

1.一種慣性傳感器，其特征在于，具有：

基板；

傳感器元件，設置在所述基板上；

蓋，覆蓋所述傳感器元件，與所述基板接合；以及

多個端子，位于所述蓋的外側，與所述傳感器元件電連接，

所述多個端子包括：

輸入端子，輸入電信號；以及

檢測端子，檢測來自所述傳感器元件的信號，

在將所述輸入端子與所述蓋的間隔距離設為L1，將所述檢測端子與所述蓋的間隔距離設為L2時，為L1＞L2的關系。

2.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述慣性傳感器具有將所述輸入端子與所述傳感器元件電連接的輸入配線，

所述檢測端子包括第一檢測端子以及第二檢測端子，

所述輸入配線設置在所述第一檢測端子與所述第二檢測端子之間。

3.根據權利要求2所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述多個端子分別相對于所述蓋位于第一方向的一側。

4.根據權利要求3所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述第一檢測端子以及所述第二檢測端子的至少一部分與將所述輸入端子沿所述第一方向延長的區域重疊。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述慣性傳感器包括：將所述第一檢測端子與所述傳感器元件電連接的第一檢測配線；以及

將所述第二檢測端子與所述傳感器元件電連接的第二檢測配線，

所述第一檢測配線與所述第二檢測配線為相同的長度。

6.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述多個端子設置在所述基板上。

7.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述多個端子設置在所述基板上，并設置在由與所述傳感器元件相同的材料構成的載置臺上。

8.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述慣性傳感器具有接合部件，所述接合部件設置在所述基板與所述蓋之間，將所述基板與所述蓋接合，

所述接合部件包含與所述多個端子相同的材料。

9.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述慣性傳感器具有多個檢查用端子，所述多個檢查用端子與所述多個端子連接，俯視圖形狀與所述多個端子不同。

10.根據權利要求9所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述多個檢查用端子的俯視圖形狀為旋轉對象。

11.一種電子設備，其特征在于，具有：

權利要求1至10中任一項所述的慣性傳感器；

基于來自所述慣性傳感器的檢測信號進行控制的控制電路。

12.一種移動體，其特征在于，具有：

權利要求1至10中任一項所述的慣性傳感器；

基于來自所述慣性傳感器的檢測信號進行控制的控制裝置。