[發(fā)明專利]LPCVD前道硅片運轉(zhuǎn)裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010101242.5
• 申請日: 2020-02-19
• 公開（公告）號: CN111128826A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃文杰
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫市江松科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 朱曉林

本發(fā)明公開了LPCVD前道硅片運轉(zhuǎn)裝置，涉及硅片搬運技術(shù)領(lǐng)域。空花籃通過花籃流轉(zhuǎn)裝置進入LPCVD前道硅片運轉(zhuǎn)裝置，然后硅片入花籃裝置將散裝的硅片依次送入空花籃中，實現(xiàn)硅片入花籃的動作，花籃入滿硅片且下一個花籃沒有到位的時候，硅片緩存裝置就緩存硅片入花籃裝置輸送的硅片直至下個空花籃到位，同時實現(xiàn)將硅片入花籃位置的滿載花籃搬運至卸片裝置位置，卸片裝置將花籃中的硅片卸除并移動給裝片裝置，裝片裝置將硅片裝入硅片小舟，硅片小舟搬運夾爪搬運滿載硅片的小舟，并將小舟由水平位置翻轉(zhuǎn)成豎直位置，對接送料跑道將滿載硅片的小舟輸送至反應爐，上述操作實現(xiàn)了硅片的自動化運轉(zhuǎn)，避免了人工搬運，節(jié)約了大量人力物力，大大提高了硅片轉(zhuǎn)運效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片搬運技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種LPCVD前道硅片運轉(zhuǎn)裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)市面上LPCVD前的硅片搬運和輸送還是采用的原始的人工進行搬運和裝卸片，反應爐內(nèi)的氣體液體都會帶有一定的毒性，對人員的身體健康造成了極大的影響，同時人工操作效率低下。

發(fā)明內(nèi)容

為了能夠提高硅片轉(zhuǎn)運的效率，本發(fā)明的技術(shù)方案提供了一種LPCVD前道硅片運轉(zhuǎn)裝置。技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供了一種LPCVD前道硅片運轉(zhuǎn)裝置，包括花籃流轉(zhuǎn)裝置、硅片入花籃裝置、硅片緩存裝置、硅片翻轉(zhuǎn)入緩存機械手、卸片裝置、裝片裝置、小舟定位裝置、硅片小舟搬運夾爪和對接送料跑道，花籃流轉(zhuǎn)裝置被配置為接收和輸出空花籃，硅片入花籃裝置被配置為將硅片送入花籃中，硅片入花籃裝置與花籃流轉(zhuǎn)裝置對接，硅片緩存裝置設(shè)置在硅片入花籃裝置上，硅片緩存裝置被配置為緩存硅片入花籃裝置輸送的硅片，硅片翻轉(zhuǎn)入緩存機械手對接硅片入花籃裝置和卸片裝置，硅片翻轉(zhuǎn)入緩存機械手被配置為搬運和翻轉(zhuǎn)帶有硅片的花籃并搬運給卸片裝置，卸片裝置被配置為將硅片從花籃中卸除，卸片裝置與裝片裝置對接，裝片裝置被配置為將硅片轉(zhuǎn)存至硅片小舟中，小舟定位裝置被配置為固定硅片小舟的位置，硅片小舟搬運夾爪與對接送料跑道對接，硅片小舟搬運夾爪被配置為將硅片小舟搬運并旋轉(zhuǎn)放置在對接送料跑道上。

空花籃通過花籃流轉(zhuǎn)裝置進入LPCVD前道硅片運轉(zhuǎn)裝置，然后硅片入花籃裝置將散裝的硅片依次送入空花籃中，實現(xiàn)硅片入花籃的動作，花籃入滿硅片且下一個花籃沒有到位的時候，硅片緩存裝置就緩存硅片入花籃裝置輸送的硅片直至下個空花籃到位，硅片翻轉(zhuǎn)入緩存機械手將卸片裝置來不及卸片的滿載花籃搬運并放置到緩存位，同時實現(xiàn)將硅片入花籃位置的滿載花籃搬運至卸片裝置位置，卸片裝置將花籃中的硅片卸除并移動給裝片裝置，裝片裝置將硅片裝入硅片小舟，硅片小舟搬運夾爪搬運滿載硅片的小舟，并將小舟由水平位置翻轉(zhuǎn)成豎直位置，然后放置在對接送料跑道上，對接送料跑道將滿載硅片的小舟輸送至反應爐，上述操作實現(xiàn)了硅片的自動化運轉(zhuǎn)，避免了人工搬運，節(jié)約了大量人力物力，大大提高了硅片轉(zhuǎn)運效率。

特別地，還包括對接接料跑道，對接跑道對應硅片小舟搬運夾爪并與卸片裝置對接。

通過對接接料跑道的設(shè)置，使得從反應爐出來的滿載硅片的小舟可以通過對接接料跑道輸送會硅片轉(zhuǎn)運裝置，共用入料時候的搬運，卸片，裝片位置的機械裝置，實現(xiàn)了反應過的硅片能夠脫離小舟和花籃的操作，完整實現(xiàn)了反應爐之前的送料和卸料操作，大大提高了反應爐的進出料效率，實現(xiàn)了硅片轉(zhuǎn)運的高度智能化集成。

具體的，硅片小舟搬運夾爪包括旋轉(zhuǎn)部、夾緊部、抵接部和托舉部，旋轉(zhuǎn)部包括旋轉(zhuǎn)動力裝置和安裝板，旋轉(zhuǎn)動力裝置的動力端與安裝板連接，夾緊部包括夾緊動力裝置、夾緊動力傳輸部和夾緊塊，夾緊塊連接在夾緊動力傳輸部的一端，夾緊動力裝置連接在夾緊動力傳輸部的一端，夾緊動力裝置安裝在安裝板上，抵接部包括抵接板、抵接動力裝置，抵接動力裝置的固定端固定在安裝板上，抵接動力裝置的活動端與抵接板一端鉸接，抵接板與安裝板鉸接，托舉部包括托舉板，托舉板設(shè)置在夾緊塊上。