[發(fā)明專利]一種基于Wafer ID Reader的自動(dòng)讀碼裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010096042.5
• 申請(qǐng)日: 2020-02-17
• 公開（公告）號(hào): CN111192842A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴超;齊風(fēng);李倫;孫晨光;王彥君
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司;天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;G06K7/10
• 代理公司: 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211
• 代理人: 耿樹志

本發(fā)明創(chuàng)造提供了一種基于Wafer ID Reader的自動(dòng)讀碼裝置，包括電控柜、滑臺(tái)以及片籃底座，所述滑臺(tái)以及片籃底座設(shè)置在電控柜內(nèi)，所述電控柜還設(shè)有總控模塊；所述電控柜內(nèi)部設(shè)有托板，所述片籃底座設(shè)置在托板上，所述片籃底座包括底板，所述底板為對(duì)稱結(jié)構(gòu)，底板上還設(shè)有多個(gè)定位塊，多個(gè)所述定位塊用于放置不同尺寸的硅片，所述底板上還設(shè)有多個(gè)用于檢測(cè)硅片放置位置的微動(dòng)開關(guān)，多個(gè)所述定位塊沿底板的對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)有兩組。本發(fā)明創(chuàng)造所述的一種基于Wafer ID Reader的自動(dòng)讀碼裝置準(zhǔn)確讀取打標(biāo)號(hào)，有效地避免了人為讀錯(cuò)、增加顆粒度的風(fēng)險(xiǎn)，提高讀碼效率，減少人為勞動(dòng)強(qiáng)度，降低人工成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明創(chuàng)造屬于半導(dǎo)體視覺識(shí)別領(lǐng)域，尤其是涉及一種基于Wafer ID Reader的自動(dòng)讀碼裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體硅片視覺識(shí)別領(lǐng)域中,人為讀取打標(biāo)號(hào)，容易產(chǎn)生視覺疲勞，導(dǎo)致讀碼錯(cuò)誤，工作效率低。通過自動(dòng)化設(shè)備，可以縮短讀碼時(shí)間，提高自動(dòng)化程度。由此可見,準(zhǔn)確、快速地讀取打標(biāo)號(hào)對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域工業(yè)應(yīng)用上具有非常重要的實(shí)用價(jià)值。

發(fā)明創(chuàng)造內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明創(chuàng)造旨在提出一種基于Wafer ID Reader的自動(dòng)讀碼裝置，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)并準(zhǔn)確讀取打標(biāo)號(hào)，有效地避免了人為讀錯(cuò)、增加顆粒度的風(fēng)險(xiǎn)，提高讀碼效率，減少人為勞動(dòng)強(qiáng)度，降低人工成本。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種基于Wafer ID Reader的自動(dòng)讀碼裝置，包括電控柜、電動(dòng)滑臺(tái)、片籃底座以及讀碼器，所述滑臺(tái)以及片籃底座設(shè)置在電控柜內(nèi)，所述電動(dòng)滑臺(tái)用于帶動(dòng)讀碼器移動(dòng)，所述電控柜還設(shè)有總控模塊；

所述電控柜內(nèi)部設(shè)有托板，所述片籃底座設(shè)置在托板上；所述片籃底座包括底板，所述底板為對(duì)稱結(jié)構(gòu)，底板上還設(shè)有多個(gè)定位塊，多個(gè)所述定位塊用于放置不同尺寸的硅片，所述底板上還設(shè)有多個(gè)用于檢測(cè)硅片放置位置的微動(dòng)開關(guān)，多個(gè)所述定位塊沿底板的對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)有兩組。

進(jìn)一步的，多個(gè)所述定位塊包括第一定位塊、第二定位塊、第三定位塊以及第四定位塊，所述第一定位塊設(shè)置在底板上表面端部，第一定位塊設(shè)有多個(gè)定位口，多個(gè)所述定位口呈階梯型；

所述第二定位塊、第三定位塊以及第四定位塊為L型定位塊，所述第二定位塊、第三定位塊以及第四定位塊的開口與第一定位塊的多個(gè)階梯型定位口開口形成放置硅片的容納空間，所述第四定位塊沿底板向上延伸的高度大于第二定位塊以及第三定位塊的高度；

所述第一定位塊的多個(gè)定位口的截面為階梯型，所述第一定位塊的定位口截面的階梯高度與第二定位塊、第三定位塊以及第四定位塊的高度對(duì)應(yīng)。

進(jìn)一步的，所述電動(dòng)滑臺(tái)設(shè)有多個(gè)，包括相互垂直的第一滑臺(tái)以及第三滑臺(tái)，多個(gè)所述滑臺(tái)均設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)以及電動(dòng)絲桿，電動(dòng)絲桿與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接，多個(gè)所述滑臺(tái)的滑塊與電動(dòng)絲桿連接，通過電動(dòng)絲桿帶動(dòng)滑塊移動(dòng)，所述伺服電機(jī)與總控模塊連接；

所述電控柜還設(shè)有背板，所述背板豎立設(shè)置在托板下方，第一滑臺(tái)設(shè)置在背板的一側(cè)，所述第一滑臺(tái)包括第一滑軌以及第一滑塊，所述第一滑臺(tái)上還設(shè)有連接板，所述連接板設(shè)置在第一滑塊上方，所述連接板與第一滑塊通過連接桿固定連接，所述第一滑塊通過連接桿帶動(dòng)連接板在豎直方向移動(dòng)；

進(jìn)一步的，所述第三滑臺(tái)包括第三滑軌以及第三滑塊，所述第三滑軌設(shè)置在連接板上，第三滑臺(tái)上還設(shè)有豎直板，所述豎直板底部與第三滑塊固定連接；

所述第一滑臺(tái)和第三滑臺(tái)設(shè)置在同一水平面上。

進(jìn)一步的，所述連接板上還設(shè)有拖鏈安裝板，第三滑臺(tái)還連接有電纜拖鏈，所述電纜拖鏈設(shè)置在拖鏈安裝板內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述第二滑臺(tái)設(shè)置在背板的另一側(cè)，所述第二滑臺(tái)包括第二滑軌以及第二滑塊，所述第二滑臺(tái)上部還包括讀碼器安裝板，讀碼器安裝板下端與第二滑塊固定連接，上端安裝有讀碼器，所述讀碼器設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述讀碼器與總控模塊連接。