[發明專利]一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置

在審

• 申請號: 202010096042.5
• 申請日: 2020-02-17
• 公開（公告）號: CN111192842A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 戴超;齊風;李倫;孫晨光;王彥君
• 申請（專利權）人: 中環領先半導體材料有限公司;天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G06K7/10
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 耿樹志

1.一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置，其特征在于：包括電控柜(1)、滑臺、片籃底座(2)以及讀碼器(21)，所述滑臺以及片籃底座(2)設置在電控柜(1)內，所述滑臺用于帶動讀碼器(21)移動，所述電控柜(1)還設有總控模塊(4)；

所述電控柜(1)內部設有托板，所述片籃底座(2)設置在托板上，所述片籃底座(2)包括底板(11)，所述底板(11)為對稱結構，底板(11)上還設有多個定位塊，多個所述定位塊用于放置不同尺寸的硅片，所述底板(11)上還設有多個用于檢測硅片放置位置的微動開關(9)，多個所述定位塊沿底板(11)的對稱軸對稱設有兩組。

2.根據權利要求1所述的一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置，其特征在于：多個所述定位塊包括第一定位塊(10)、第二定位塊(12)、第三定位塊(13)以及第四定位塊(14)，所述第一定位塊(10)設置在底板(11)上表面端部，第一定位塊(10)設有多個定位口，多個所述定位口呈階梯型；

所述第二定位塊(12)、第三定位塊(13)以及第四定位塊(14)為L型定位塊，所述第二定位塊(12)、第三定位塊(13)以及第四定位塊(14)的開口與第一定位塊(10)的多個階梯型定位口開口形成放置硅片的容納空間，所述第四定位塊(14)沿底板(11)向上延伸的高度大于第二定位塊(12)以及第三定位塊(13)的高度；

所述第一定位塊(10)的多個定位口的截面為階梯型，所述第一定位塊(10)的定位口截面的階梯高度與第二定位塊(12)、第三定位塊(13)以及第四定位塊(14)的高度對應。

3.根據權利要求1所述的一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置，其特征在于：所述滑臺包括相互垂直的第一滑臺(16)以及第三滑臺(26)，

所述電控柜(1)還設有背板(15)，所述背板(15)豎立設置在托板下方，第一滑臺(16)設置在背板(15)的一側，所述第一滑臺(16)包括第一滑軌以及第一滑塊，所述第一滑臺(16)上還設有連接板(24)，所述連接板(24)設置在第一滑塊上方，所述連接板(24)與第一滑塊通過連接桿固定連接，所述第一滑塊通過連接桿帶動連接板(24)在豎直方向移動；

所述第三滑臺(26)包括第三滑軌以及第三滑塊，所述第三滑軌設置在連接板(24)上，第三滑臺(26)上還設有豎直板(25)，所述豎直板(25)底部與第三滑塊固定連接。

4.根據權利要求3所述的一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置，其特征在于：所述連接板(24)上還設有拖鏈安裝板(17)，第三滑臺(26)還連接有電纜拖鏈(27)，所述電纜拖鏈(27)設置在拖鏈安裝板(17)內。

5.根據權利要求3所述的一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置，其特征在于：還包括第二滑臺(18)，所述第二滑臺(18)設置在背板(15)的另一側，所述第二滑臺(18)包括第二滑軌以及第二滑塊，所述第二滑臺(18)上部還包括讀碼器安裝板(19)，讀碼器安裝板(19)下端與第二滑塊固定連接，上端安裝有讀碼器(21)，所述讀碼器(21)設有兩個，兩個所述讀碼器(21)與總控模塊(4)連接，多個所述滑臺均設有驅動電機以及電動絲桿，電動絲桿與驅動電機的輸出軸連接，多個所述滑臺的滑塊與電動絲桿連接，通過電動絲桿帶動滑塊移動。

6.根據權利要求5所述的一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置，其特征在于：所述豎直板(25)頂部向讀碼器(21)一側延伸還設有陶瓷手指(22)，所述陶瓷手指(22)端部還設有激光傳感器(20)以及真空負壓吸片機構(23)，所述陶瓷手指(22)、激光傳感器(20)以及真空負壓吸片機構(23)與總控模塊(4)連接。

7.根據權利要求5所述的一種基于Wafer ID Reader的自動讀碼裝置，其特征在于：所述激光傳感器(20)設置在兩個讀碼器(21)之間。