[發明專利]一種柔性濕度傳感器用鎳鉻-鋁電極圖形制備方法在審
| 申請號： | 202010095444.3 | 申請日： | 2020-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN111206245A | 公開（公告）日： | 2020-05-29 |
| 發明（設計）人： | 石華平;黎威志;陳德林 | 申請（專利權）人： | 江蘇友潤微電子有限公司 |
| 主分類號： | C23C30/00 | 分類號： | C23C30/00;C23F1/02;C23F1/20 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人： | 陳棟智 |
| 地址： | 225000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柔性 濕度 傳感 器用 電極 圖形 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種柔性濕度傳感器用鎳鉻-鋁電極圖形制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1）將硅或玻璃襯底徹底清洗干燥；
2）在襯底上沉積一薄層鋁；
3）旋涂正性光刻膠并低溫烘烤幾分鐘；
4）光刻膠采用互補的負光刻版曝光以形成引出端和電極圖形；
5）顯影，然后用磷酸腐蝕暴露出的鋁；
6）在丙酮中去除光刻膠，此時襯底上除了電極和引出端圖形區外，其他區域都覆蓋了鋁薄膜；
7）襯底徹底清洗干燥后連續沉積一層鎳鉻薄膜和鋁薄膜，沉積過程中襯底不加溫；
8）旋涂正性光刻膠并低溫烘烤幾分鐘；
9）采用正性光刻版圖曝光形成引出端圖形并顯影；
10）用磷酸刻蝕暴露的鋁薄膜；
11）襯底在去離子水中徹底清洗后，用丙酮去掉光刻膠，形成鎳鉻電極圖形。
2.根據權利要求1所述的一種柔性濕度傳感器用鎳鉻-鋁電極圖形制備方法，其特征在于，步驟7）中的鎳鉻薄膜的方阻為200~500Ω/□。
3.根據權利要求1所述的一種柔性濕度傳感器用鎳鉻-鋁電極圖形制備方法，其特征在于，步驟7）中的鋁薄膜的厚度為500±20nm。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江蘇友潤微電子有限公司，未經江蘇友潤微電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010095444.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
