[發明專利]一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置

在審

• 申請號: 202010094731.2
• 申請日: 2020-02-16
• 公開（公告）號: CN111290220A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 鄧瑋
• 申請（專利權）人: 鄧瑋
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;F16K3/02;F16K3/314;F16K3/30;F16K27/04;F16K31/04
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• 代理人: 暫無信息

1.一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，包括真空腔體(1)，其特征在于：所述真空腔體(1)的底面開設有兩個通孔且底部固定連接有插板閥一(7)，所述插板閥一(7)底部的左側固定連接有二級送片室(8)，所述真空腔體(1)底部左側的通孔通過插板閥一(7)與二級送片室(8)連通，所述二級送片室(8)的底部固定連接有插板閥二(9)，所述插板閥二(9)底部的左側固定連接有一級送片室(10)，所述一級送片室(10)的底部螺紋連接有固定直線電機一(11)，所述二級送片室(8)的內部活動安裝有移動直線電機一(12)，所述插板閥一(7)底部的右側固定連接有二級取片室(13)，所述二級取片室(13)的底部與插板閥二(9)頂部的右側固定連接，所述插板閥二(9)底部的右側固定連接有一級取片室(14)，所述一級取片室(14)的底部螺紋連接有固定直線電機二(15)，所述一級取片室(14)的內部活動連接有移動直線電機二(16)，所述二級送片室(8)和二級取片室(13)的兩側分別固定安裝有電磁鎖緊器(17)，所述二級送片室(8)、一級送片室(10)、二級取片室(13)和一級取片室(14)的固定連接有抽氣管，所述抽氣管的一端固定連接有真空泵。

2.根據權利要求1所述的一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，其特征在于：所述真空腔體(1)包括你外殼(1-1)和移動平臺(1-2)，所述移動平臺(1-2)位于外殼(1-1)的底部且保持水平，所述外殼(1-1)內部左壁上固定安裝有液壓伸縮桿(1-3)，所述移動平臺(1-2)上表面的右部且位于真空腔體(1)底部右側的通孔右上方固定安裝有限定塊(1-4)，所述液壓伸縮桿(1-3)可兩級推送。

3.根據權利要求1所述的一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，其特征在于：所述插板閥一(7)包括固定板(71)，所述固定板(71)的內部固定安裝有限定板(72)，所述限定板(72)的內部活動安裝有活動板(73)，所述活動板(73)的右端固定連接有直線電機三(74)，所述固定板(71)的右端與直線電機三(74)固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，其特征在于：所述活動板(73)從左向右分為五個區域，且依次寬度為L₁、D₁、L₂、D₂和L₃，其中D₁＝D₂,L₂＝L₃＝2L₁+D₁。

5.根據權利要求1所述的一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，其特征在于：所述二級送片室(8)與一級送片室(10)內部的正面與背面分別開設有固定長度的卡槽，所述移動直線電機一(12)與卡槽活動連接，所述移動直線電機一(12)上開設有卡孔。