[發明專利]一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置

在審

• 申請號: 202010094731.2
• 申請日: 2020-02-16
• 公開（公告）號: CN111290220A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 鄧瑋
• 申請（專利權）人: 鄧瑋
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;F16K3/02;F16K3/314;F16K3/30;F16K27/04;F16K31/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及真空設備技術領域，且公開了一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，包括真空腔體，所述真空腔體的底面開設有兩個通孔且底部固定連接有插板閥一，所述插板閥一底部的左側固定連接有二級送片室，所述真空腔體底部左側的通孔通過插板閥一與二級送片室連通。通過二級送片室和一級送片室的設置，對樣品的輸送分為三級，依次為外界與一級送片室的交換、一級送片室與二級送片室之間的交換、二級送片室與真空腔體之間的交換，依次平衡外界與真空腔體中的真空差，有效保證真空腔體中的真空度不受波動，進而保證樣品曝光的質量，同時無需考慮傳統真空鎖中樣品桿的加工難易，并有效減少了有運動部件與外界接觸而造成的真空泄露。

技術領域

本發明涉及真空設備技術領域，具體為一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置。

背景技術

在真空系統中，常需要真空鎖這種結構，它是真空與大氣間物體交換的一個中間過渡裝置,使得在真空室真空度不被破壞的條件下,從大氣中將試驗樣品或工件送進真空室，并且，在不破壞真空的條件下，實現從真空室中取出樣品或工件，并且在運作的過程中可完成裝卡工件的動作，在高壓電子束曝光機的真空鎖如附圖5所示，真空鎖利用樣品桿6對工件或者樣品從換片室3運往真空腔體1中，在運輸過程中通過矩形插板閥2，樣品在換片室3中與外界進行更換，但其在使用存在一些不足，如下：

由于樣品桿6比較細長,在加工的過程中難免會彎曲,這樣在推拉樣品桿的過程中就會與密封座的內孔壁發生摩擦,致使樣品桿6表面被劃傷，最終不能保證在運動中不發生真空泄漏，同時，為保證結構緊湊,所以在樣品桿基座4上的兩個O型圈5間的墊片比較薄(2.5mm),使得兩個O型圈5離得相對比較近,即便在樣品桿做得比較直的情況下,推拉樣品桿依然會發生偏斜,會與密封座的內孔壁發生摩擦，造成真空度降低。

發明內容

本發明提供了一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，具備多級輸送，保證良好的真空度，并且可以同時進行樣品輸送和取出的優點，解決了上述背景技術中的問題。

本發明提供如下技術方案：一種高壓電子束曝光機用真空鎖裝置，包括真空腔體，所述真空腔體的底面開設有兩個通孔且底部固定連接有插板閥一，所述插板閥一底部的左側固定連接有二級送片室，所述真空腔體底部左側的通孔通過插板閥一與二級送片室連通，所述二級送片室的底部固定連接有插板閥二，所述插板閥二底部的左側固定連接有一級送片室，所述一級送片室的底部螺紋連接有固定直線電機一，所述二級送片室的內部活動安裝有移動直線電機一，所述插板閥一底部的右側固定連接有二級取片室，所述二級取片室的底部與插板閥二頂部的右側固定連接，所述插板閥二底部的右側固定連接有一級取片室，所述一級取片室的底部螺紋連接有固定直線電機二，所述一級取片室的內部活動連接有移動直線電機二，所述二級送片室和二級取片室的兩側分別固定安裝有電磁鎖緊器，所述二級送片室、一級送片室、二級取片室和一級取片室的固定連接有抽氣管，所述抽氣管的一端固定連接有真空泵。

優選的，所述真空腔體包括你外殼-和移動平臺-，所述移動平臺-位于外殼-的底部且保持水平，所述外殼-內部左壁上固定安裝有液壓伸縮桿-，所述移動平臺-上表面的右部且位于真空腔體底部右側的通孔右上方固定安裝有限定塊-，所述液壓伸縮桿-可兩級推送。

優選的，所述插板閥一包括固定板，所述固定板的內部固定安裝有限定板，所述限定板的內部活動安裝有活動板，所述活動板的右端固定連接有直線電機三，所述固定板的右端與直線電機三固定連接。

優選的，所述活動板從左向右分為五個區域，且依次寬度為L₁、D₁、L₂、D₂和L₃，其中D₁＝D₂,L₂＝L₃＝2L₁+D₁。

優選的，所述二級送片室與一級送片室內部的正面與背面分別開設有固定長度的卡槽，所述移動直線電機一與卡槽活動連接，所述移動直線電機一上開設有卡孔。