[發(fā)明專利]一種柔性基板及其制備方法、柔性顯示基板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010092387.3
• 申請(qǐng)日: 2020-02-14
• 公開（公告）號(hào): CN113270563B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H10K71/00
• 分類號(hào): H10K71/00;H10K50/80;H10K77/10;G09F9/30
• 代理公司: 北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262
• 代理人: 陶麗;曲鵬

一種柔性基板及其制備方法、柔性顯示基板，該柔性基板包括多個(gè)間隔的島區(qū)和連接在不同島區(qū)間的多個(gè)橋區(qū)，該柔性基板在非島區(qū)且非橋區(qū)的區(qū)域具有多個(gè)開口，每個(gè)島區(qū)上設(shè)有多個(gè)層結(jié)構(gòu)，該層結(jié)構(gòu)包括從下往上依次設(shè)置的第一柔性基底層、第一緩沖層和第二柔性基底層，第一緩沖層朝向第一柔性基底層一側(cè)的表面在第一柔性基底層上的正投影大于第一柔性基底層朝向第一緩沖層一側(cè)的表面在第一柔性基底層上的正投影。本申請(qǐng)能夠使得激光剝離時(shí)第一柔性基底層以上的膜層不易發(fā)生封裝膜層開裂，減少了連接橋區(qū)的走線斷裂，提高了產(chǎn)品的良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及但不限于顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性基板及其制備方法、柔性顯示基板。

背景技術(shù)

柔性顯示裝置是一種基于柔性基底材料制作形成的顯示裝置。由于柔性顯示裝置具有可卷曲、寬視角、便于攜帶等特點(diǎn)，近年來受到廣泛關(guān)注。目前，柔性顯示裝置通常采用島橋結(jié)構(gòu)。島橋結(jié)構(gòu)是將發(fā)光單元設(shè)置在像素島區(qū)，像素島間連接線設(shè)置在連接橋區(qū)，施加外力拉伸時(shí)，形變主要發(fā)生在連接橋區(qū)，像素島區(qū)的發(fā)光單元基本保持形狀，可以保證像素島區(qū)的發(fā)光單元不會(huì)受到破壞。同時(shí)，為了增加柔性顯示裝置的可變形量，還開設(shè)有一系列微孔，因而，柔性顯示裝置是由發(fā)光單元所在的像素島區(qū)、島間連接線所在的連接橋區(qū)以及貫通柔性基底的孔區(qū)組成。

柔性顯示基板通常是在形成于剛性襯底基底上的柔性層上加工制作其他功能膜層后，再通過激光剝離(laser?lift?off，LLO)工藝將柔性顯示基板從剛性襯底基底上剝離。激光剝離工藝采用紫外激光從剛性襯底基底背面照射到柔性層，使得照射區(qū)域柔性層與剛性襯底基底之間的分子鏈斷裂，從而完成柔性層與剛性襯底基底的脫離。但是，由于激光具有較大的剝離力，在激光剝離時(shí)，連接橋區(qū)容易出現(xiàn)大面積斷裂，進(jìn)而導(dǎo)致柔性顯示基板上的封裝膜層開裂和連接橋區(qū)的金屬走線斷裂，降低產(chǎn)品的良率。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N柔性基板及其制備方法、柔性顯示基板，能夠減少激光剝離造成的連接橋區(qū)的金屬走線斷裂。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種柔性基板的制備方法，包括：在剛性襯底基板上依次形成第一柔性基底層和第一緩沖層，所述第一緩沖層上設(shè)置有第一過孔；對(duì)所述第一柔性基底層進(jìn)行處理，以使得所述第一過孔貫穿所述第一柔性基底層，且所述第一緩沖層朝向第一柔性基底層一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影大于所述第一柔性基底層朝向第一緩沖層一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影；在所述第一緩沖層遠(yuǎn)離所述第一柔性基底層的一側(cè)形成第二柔性基底層；對(duì)所述第二柔性基底層進(jìn)行處理，以使得所述第一過孔貫穿所述第二柔性基底層；剝離所述剛性襯底基板，得到所述柔性基板。

在一些示例性實(shí)施例中，在對(duì)所述第一柔性基底層進(jìn)行處理時(shí)，所述方法還使得：所述第一過孔與所述第一柔性基底層的連接面為坡面，所述第一柔性基底層朝向所述剛性襯底基板一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影大于所述第一柔性基底層遠(yuǎn)離所述剛性襯底基板一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影；在對(duì)所述第二柔性基底層進(jìn)行處理時(shí)，所述方法還使得：所述第一過孔與所述第二柔性基底層的連接面為坡面，所述第二柔性基底層朝向所述第一緩沖層一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影大于所述第二柔性基底層遠(yuǎn)離所述第一緩沖層一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影。

在一些示例性實(shí)施例中，在所述對(duì)第二柔性基底層進(jìn)行處理之前，所述方法還包括：在所述第二柔性基底層遠(yuǎn)離所述第一緩沖層的一側(cè)形成第二緩沖層，所述第二緩沖層上設(shè)置有第二過孔，所述第一過孔與第二過孔的位置對(duì)應(yīng)；所述對(duì)所述第二柔性基底層進(jìn)行處理，以使得所述第一過孔貫穿所述第二柔性基底層，包括：對(duì)所述第二柔性基底層進(jìn)行處理，以使得所述第一過孔和所述第二過孔連通并貫穿第二柔性基底層，且所述第二緩沖層朝向所述第二柔性基底層一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影大于所述第二柔性基底層朝向所述第二緩沖層一側(cè)的表面在所述剛性襯底基板上的正投影；在所述第二緩沖層遠(yuǎn)離所述第二柔性基底層的一側(cè)形成第三柔性基底層；對(duì)所述第三柔性基底層進(jìn)行處理，以使得所述第一過孔和第二過孔連通并貫穿所述第三柔性基底層。