[發明專利]透射型紫外SP定向傳輸結構及其設計方法有效
| 申請號： | 202010083895.5 | 申請日： | 2020-02-10 |
| 公開（公告）號： | CN111257977B | 公開（公告）日： | 2021-08-27 |
| 發明（設計）人： | 石建平;陳聰;翁朝倉;席建新;陳盼盼 | 申請（專利權）人： | 安徽師范大學 |
| 主分類號： | G02B5/00 | 分類號： | G02B5/00;G02B27/00 |
| 代理公司： | 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107 | 代理人： | 鐘雪 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 透射 紫外 sp 定向 傳輸 結構 及其 設計 方法 | ||
1.一種透射型紫外SP定向傳輸結構的設計方法，其特征在于，所述方法具體包括如下步驟：
S1、基于入射紫外光的波長λ0計算SP波長λsp；
S2、基于SP波長λsp確定納米狹縫的寬度Ws，即Ws＝λsp/2，將納米狹縫的深度設置為金屬薄膜的厚度；
S3、基于定向傳輸方向確定金屬凹槽的寬度，當需要紫外SP向金屬凹槽背離側的金屬薄膜表面傳輸時，金屬凹槽的寬度Wg為λsp/4的奇數倍，當需要紫外SP向金屬凹槽所在側的金屬薄膜表面傳輸時，金屬凹槽寬度Wg為λsp/4的偶數倍；
S4、獲取不同腔長LFP及不同金屬凹槽深度Dg對應的消光比數值，獲取消光比數值最大的腔長LFP及金屬凹槽深度Dg，即為最佳腔長及最佳凹槽深度，基于最佳腔長確定金屬凹槽的寬度Wg；
腔長LFP等于納米狹縫的寬度Ws與金屬凹槽的寬度Wg之和，通過調整金屬凹槽的寬度Wg來調整腔長LFP，金屬凹槽設置于納米狹縫的一側，且緊鄰納米狹縫設置；
在步驟S4之后還包括：
S5、當需要紫外SP向金屬凹槽所在側傳輸時，則在金屬凹槽背離側的金屬薄膜上設置Bragg光柵，當需要紫外SP向金屬凹槽背離側傳輸時，則金屬凹槽所在側的金屬薄膜上設置Bragg光柵；
Bragg光柵周期Λ＝λB/2·neff，neff為Bragg光柵結構的有效折射率，Bragg光柵的占空比為(Λ-Ws)/Ws，Bragg光柵的深度與金屬凹槽的深度Dg相同。
2.如權利要求1所述透射型紫外SP定向傳輸結構的設計方法，其特征在于，所述金屬薄膜的材料為Al。
3.如權利要求1所述透射型紫外SP定向傳輸結構的設計方法，其特征在于，所述金屬薄膜的厚度小于入射波的波長λ0。
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