[發明專利]一種有槽熱板溫度梯度離子擴散制作玻璃基掩埋式模斑轉換器的方法在審
| 申請號： | 202010083632.4 | 申請日： | 2020-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN111239898A | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發明（設計）人： | 郝寅雷;鄧鑫宸;蔣建光;牛夢華;周柯江;車錄鋒 | 申請（專利權）人： | 浙江大學深圳研究院 |
| 主分類號： | G02B6/134 | 分類號： | G02B6/134;G02B6/14;G02B6/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區粵*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 有槽熱板 溫度梯度 離子 擴散 制作 玻璃 掩埋 式模斑 轉換器 方法 | ||
1.一種有槽熱板溫度梯度離子擴散制作玻璃基掩埋式模斑轉換器的方法，包括兩個環節：第一個環節用離子交換法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋條形離子摻雜區(8)；第二個環節是將玻璃基片(1)豎直放置在有槽熱板(5)上的凹槽內進行梯度溫度離子擴散。這種方法的特征在于：將表面以下制作有掩埋條形離子摻雜區(8)的玻璃基片(1)豎直放置在水平有槽熱板(5)上的凹槽內進行梯度溫度離子擴散，利用玻璃基片(1)內沿掩埋條形離子摻雜區(8)長度方向的溫度梯度，使玻璃基片(1)中沿掩埋條形離子摻雜區(8)長度方向產生摻雜離子擴散速率的梯度，增大玻璃基片(1)表面以下的掩埋條形離子摻雜區(8)在貼近有槽熱板(5)一端的橫截面尺寸，將掩埋條形離子摻雜區(8)變成掩埋錐形離子摻雜區(9)。
2.根據權利要求1所述的一種有槽熱板溫度梯度離子擴散制作玻璃基掩埋式模斑轉換器的方法，其特征在于：所述的玻璃基片(1)材料為硅酸鹽玻璃、硼硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃或硼酸鹽玻璃。
3.根據權利要求1所述的一種有槽熱板溫度梯度離子擴散制作玻璃基掩埋式模斑轉換器的方法，其特征在于：所述的條形離子摻雜區(4)中的摻雜離子為Ag+，Cs+或Tl+。
4.根據權利要求1所述的一種有槽熱板溫度梯度離子擴散制作玻璃基掩埋式模斑轉換器的方法，其特征在于：通過對有槽熱板(5)上凹槽形狀和尺寸的調節優化模斑轉換器的結構和性能。
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