[發(fā)明專(zhuān)利]探針卡及WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010078678.7
• 申請(qǐng)日: 2020-02-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111257605B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐晶;肖尚剛;周波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 分類(lèi)號(hào): G01R1/073;B08B13/00;G01R31/26
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 焦天雷

1.一種WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)，包括：WAT自動(dòng)參數(shù)測(cè)試儀和自動(dòng)探針臺(tái)，WAT自動(dòng)參數(shù)測(cè)試儀的測(cè)試頭設(shè)置在自動(dòng)探針臺(tái)測(cè)試機(jī)臺(tái)柜的頂部，測(cè)試機(jī)臺(tái)柜內(nèi)設(shè)有用于承載被測(cè)試晶圓的承載盤(pán)，晶圓裝載柜與測(cè)試機(jī)臺(tái)柜相鄰；其使用探針卡由多個(gè)結(jié)構(gòu)相同的探針單元連接固定在探針卡支架上形成，所述探針單元包括環(huán)形PCB基板，內(nèi)置引線的支撐架固定在所述PCB基板內(nèi)環(huán)，探針固定在所述支撐架上，其特征在于：

第一風(fēng)源，其形成在所述測(cè)試頭頂部；

第二風(fēng)源，其形成在所述晶圓裝載柜頂部；

第三風(fēng)源，其形成在所述測(cè)試機(jī)臺(tái)柜左側(cè)壁；

第四風(fēng)源，其形成在所述晶圓裝載柜右側(cè)壁內(nèi)側(cè)，其自所述晶圓裝載柜向外抽風(fēng)；

其中，所述測(cè)試頭中心設(shè)有第一風(fēng)道，測(cè)試機(jī)臺(tái)柜右側(cè)壁和晶圓裝載柜左側(cè)壁密閉相鄰且其間形成有第二風(fēng)道。

2.如權(quán)利要求1所述的WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述第一風(fēng)道位于被測(cè)試晶圓上方。

3.如權(quán)利要求2所述的WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述第一風(fēng)道供第一風(fēng)源送風(fēng)至測(cè)試機(jī)臺(tái)柜內(nèi)的探針卡上。

4.如權(quán)利要求2所述的WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述第一風(fēng)道是在測(cè)試頭中心形成的圓形通孔。

5.如權(quán)利要求1所述的WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述第二風(fēng)道供測(cè)試機(jī)臺(tái)柜內(nèi)氣流流入晶圓裝載柜。

6.如權(quán)利要求1所述的WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)，其特征在于：第一風(fēng)源是向所述測(cè)試機(jī)臺(tái)柜內(nèi)送風(fēng)的風(fēng)源，第二風(fēng)源是向所述晶圓裝載柜內(nèi)送風(fēng)的風(fēng)源，第三風(fēng)源是自所述測(cè)試機(jī)臺(tái)柜內(nèi)向外抽風(fēng)的風(fēng)源，第四風(fēng)源是自所述晶圓裝載柜右側(cè)壁內(nèi)向外抽風(fēng)的風(fēng)源。