[發明專利]檢查用工作臺

在審

• 申請號: 202010078518.2
• 申請日: 2020-02-03
• 公開（公告）號: CN111524828A
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 姚龍才;李志偉
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

1.一種檢查用工作臺，其在加工裝置中使用，該加工裝置具有：卡盤工作臺，其利用保持面對被加工物進行保持；加工單元，其與該保持面相對，對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行加工；工作臺基臺，其將該卡盤工作臺支承為裝卸自如；移動單元，其使該工作臺基臺移動；以及照相機單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行拍攝，其中，

該檢查用工作臺包含：

基座部，其以能夠裝卸的方式支承于該卡盤工作臺的該保持面或該工作臺基臺；

傳感器，其固定于該基座部，由電力進行驅動；

信息發送部，其發送該傳感器所檢測出的信息；以及

電池，其向該傳感器和該信息發送部提供電力，

該傳感器從由壓力檢測傳感器、傾斜檢測傳感器、溫度檢測傳感器、光量傳感器以及圖像傳感器構成的組中進行選擇，

該檢查用工作臺使用該傳感器來檢測或記錄與該卡盤工作臺、該加工單元、該工作臺基臺或該移動單元相關聯的壓力、傾斜度、溫度、光量或所拍攝的外觀。

2.根據權利要求1所述的檢查用工作臺，其中，

該檢查用工作臺還包含記錄來自該傳感器的檢測信息的存儲器。