[發(fā)明專利]檢查用工作臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010078518.2
• 申請(qǐng)日: 2020-02-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111524828A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚龍才;李志偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

提供檢查用工作臺(tái)，不需要?jiǎng)诹图寄芫痛_認(rèn)裝置的狀態(tài)。在加工裝置的檢查中使用的檢查用工作臺(tái)具有：基座部，其以能夠裝卸的方式支承于卡盤(pán)工作臺(tái)的保持面或工作臺(tái)基臺(tái)；傳感器，其固定于基座部，由電力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；信息發(fā)送部，其發(fā)送傳感器所檢測(cè)出的信息；以及電池，其向傳感器和信息發(fā)送部提供電力。傳感器是壓力檢測(cè)傳感器、傾斜檢測(cè)傳感器、溫度檢測(cè)傳感器、光量傳感器或圖像傳感器。檢查用工作臺(tái)使用傳感器來(lái)檢測(cè)或記錄與卡盤(pán)工作臺(tái)、加工單元、工作臺(tái)基臺(tái)或移動(dòng)單元相關(guān)聯(lián)的壓力、傾斜度、溫度、光量或所拍攝的外觀。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行加工的加工裝置的檢查用的檢查用工作臺(tái)。

背景技術(shù)

存在各種利用卡盤(pán)工作臺(tái)對(duì)被加工物進(jìn)行保持并加工(半導(dǎo)體晶片或封裝基板的切削、激光加工、磨削等)的加工裝置。例如在切削裝置的情況下，如果卡盤(pán)工作臺(tái)傾斜規(guī)定以上，則切入深度會(huì)發(fā)生變動(dòng)，產(chǎn)生未切斷的區(qū)域。另外，在切削裝置中，如果噴嘴相對(duì)于切削刀具未被定位于規(guī)定的位置，則污染物(切削屑)會(huì)大量附著于被加工物等，無(wú)法得到期望的加工結(jié)果。因此，需要定期地檢查裝置的狀態(tài)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2017-144511號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2017-199777號(hào)公報(bào)

在進(jìn)行裝置狀態(tài)的檢查的情況下，為了確認(rèn)裝置是否為期望的狀態(tài)，在狹窄的裝置中進(jìn)行觀察或者將各種測(cè)定器設(shè)置在裝置中等需要?jiǎng)诹图寄堋＠纾谇邢餮b置中，為了確認(rèn)切削水噴嘴是否被定位成與切削刀具平行，有時(shí)在切削刀具的下方設(shè)置鏡子而進(jìn)行窺視作業(yè)。但是，由于該作業(yè)是在暗且狹窄的空間中進(jìn)行的，因此非常困難。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于，提供不需要?jiǎng)诹图寄芫湍軌虼_認(rèn)裝置的狀態(tài)的檢查用工作臺(tái)。

根據(jù)本發(fā)明，提供檢查用工作臺(tái)，其在加工裝置中使用，該加工裝置具有：卡盤(pán)工作臺(tái)，其利用保持面對(duì)被加工物進(jìn)行保持；加工單元，其與該保持面相對(duì)，對(duì)該卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行加工；工作臺(tái)基臺(tái)，其將該卡盤(pán)工作臺(tái)支承為裝卸自如；移動(dòng)單元，其使該工作臺(tái)基臺(tái)移動(dòng)；以及照相機(jī)單元，其對(duì)該卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行拍攝，其中，該檢查用工作臺(tái)包含：基座部，其以能夠裝卸的方式支承于該卡盤(pán)工作臺(tái)的該保持面或該工作臺(tái)基臺(tái)；傳感器，其固定于該基座部，由電力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；信息發(fā)送部，其發(fā)送該傳感器所檢測(cè)出的信息；以及電池，其向該傳感器和該信息發(fā)送部提供電力，該傳感器從由壓力檢測(cè)傳感器、傾斜檢測(cè)傳感器、溫度檢測(cè)傳感器、光量傳感器以及圖像傳感器構(gòu)成的組中進(jìn)行選擇，該檢查用工作臺(tái)使用該傳感器來(lái)檢測(cè)或記錄與該卡盤(pán)工作臺(tái)、該加工單元、該工作臺(tái)基臺(tái)或該移動(dòng)單元相關(guān)聯(lián)的壓力、傾斜度、溫度、光量或所拍攝的外觀。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，僅通過(guò)固定在加工裝置的卡盤(pán)工作臺(tái)上(保持面上)或者代替卡盤(pán)工作臺(tái)而固定在工作臺(tái)基臺(tái)上，就能夠?qū)崿F(xiàn)將各種傳感器搭載于工作臺(tái)的狀況。由此，能夠拍攝加工單元、切削刀具的周圍的狀況(噴嘴的傾斜度、噴嘴與刀具的位置關(guān)系)、激光照射單元的周圍的狀況(真空單元與聚光透鏡的位置關(guān)系)并進(jìn)行確認(rèn)。另外，根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，由于具有信息發(fā)送部，因此即使在遠(yuǎn)離工作臺(tái)的位置，也能夠確認(rèn)工作臺(tái)面的傾斜度、移動(dòng)單元的偏轉(zhuǎn)和俯仰、照相機(jī)單元的照明的強(qiáng)弱和偏移等。

優(yōu)選的是，檢查用工作臺(tái)還包含記錄來(lái)自該傳感器的檢測(cè)信息的存儲(chǔ)器。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，操作者能夠根據(jù)需要取得并利用傳感器所檢測(cè)出的檢測(cè)信息。

根據(jù)本發(fā)明，起到了不需要?jiǎng)诹图寄芫湍軌虼_認(rèn)裝置的狀態(tài)的效果。

附圖說(shuō)明

圖1是示出本發(fā)明實(shí)施方式的加工裝置的立體圖。

圖2是圖1的加工裝置的主要部分的局部側(cè)剖視圖。

圖3是實(shí)施方式的加工單元的立體圖。

圖4是說(shuō)明對(duì)圖1的加工裝置的卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行切削加工的動(dòng)作的局部側(cè)剖視圖。