[發明專利]用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置

在審

• 申請號: 202010077416.9
• 申請日: 2020-01-29
• 公開（公告）號: CN111261474A
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 孫建寧;王興超;司曙光;蘇德坦;侯巍;任玲;黃國瑞;徐海洋;張昊達;曹宜起
• 申請（專利權）人: 北方夜視技術股份有限公司
• 主分類號: H01J9/12
• 分類號: H01J9/12;H01J43/08
• 代理公司: 南京行高知識產權代理有限公司 32404
• 代理人: 王菊花

本發明涉及光電倍增管技術領域，提出一種用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，包括主機臺；底板；可移除地安裝到底板上的鐘罩；設置在底板上的升降機構；設置在所述鐘罩形成的密閉腔體內的加熱裝置，被設置成用于對夾持在三工位旋轉工作臺的光電倍增管玻璃球殼從側部、頂部以及中間間隙位置進行加熱；控制單元，被設置用于控制所述加熱裝置的功率。本發明提供的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置與加熱方法，可同時進行三只或者更多光電倍增管的制作，解決了光電倍增管管殼在排氣裝置中由于位置分布不均勻導致的溫度均勻性差的問題，提高加熱和工作效率。

技術領域

本發明涉及光電倍增管技術領域，尤其是微通道板型光電倍增管(PMT-MCP)，具體而言涉及一種用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，適于光電倍增管多工位制造的均勻加熱裝置與加熱方法。

背景技術

微通道板型光電倍增管是一種真空光電探測器件，常用于單光子信號的探測。微通道板型光電倍增管需要使用排氣裝置進行制作，制作的過程包括真空抽氣、高溫烘烤、光電陰極制作、封接等。其中光電陰極制作是光電倍增管的核心工藝，需要在高真空度及特定的溫度條件下在管殼上部內表面進行制作，溫度均勻性將會直接影響光電陰極的量子效率均勻性，最終會影響光電倍增管對微弱光信號的探測性能。

排氣裝置加熱時，內部處于高真空狀態，加熱裝置靠熱輻射保持鐘罩內部溫度，當排氣裝置同時進行三個或者更多光電倍增管制作時，由于不同工位之間管殼之間相互遮擋、管殼不同位置距離加熱裝置不同、玻璃管殼熱傳導率差等因素，如采用普通加熱方式，管殼表面溫度均勻性將極差，無法滿足光電倍增管陰極制作工藝條件。

發明內容

本發明的目的在于提出用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，包括：主機臺；設置在主機臺上的底板；可移除地安裝到底板上的鐘罩，所述鐘罩被設置成可沿著豎直方向安裝到底板上，并且在二者結合后在鐘罩內腔形成密閉腔體，三工位旋轉工作臺設置在鐘罩形成的密閉腔體中；設置在底板上的升降機構，用以帶動所述鐘罩上下運動；以及設置在所述鐘罩形成的密閉腔體內的加熱裝置，被設置成用于對夾持在三工位旋轉工作臺的光電倍增管玻璃球殼從側部、頂部以及中間間隙位置進行加熱；控制單元，被設置用于控制所述加熱裝置的功率。

其中，所述鐘罩具有圓形柱體部以及直徑漸變的圓頂部。

其中，所述加熱裝置包括：

設置于所述鐘罩內部的側表面的第一加熱組件；

設置于所述鐘罩頂部內表面的第二加熱組件；以及

設置于所述鐘罩頂部中央位置并朝向底板方向延伸的第三加熱組件。

其中，所述第一加熱組件和第二加熱組件分別為螺旋狀加熱絲。

其中，所述鐘罩內部設置有多跟固定在側表面的支撐筋條，所述第一加熱組件的螺旋狀加熱絲支撐在支撐筋條上。

其中，所述螺旋狀加熱絲與鐘罩之間設置有隔熱板。

其中，所述隔熱板為不銹鋼隔熱板。

其中，所述第一加熱組件包括上下兩組獨立的螺旋狀加熱絲。

其中，所述鐘罩頂部內表面的固定有冠狀支撐架，所述第二加熱組件的螺旋狀加熱絲固定支撐在冠狀支撐架上。

其中，所述第三加熱組件具有一固定到鐘罩頂部中央位置的柱狀件以及盤旋在柱狀件上的加熱絲。

附圖說明

圖1是本發明的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置的整體結構示意圖。

圖2是本發明的鐘罩內部的加熱裝置的示意圖。

圖3是本發明的鐘罩內部的加熱裝置的具體結構示意圖。