[發(fā)明專利]用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010077416.9 | 申請日： | 2020-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN111261474A | 公開（公告）日： | 2020-06-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 孫建寧;王興超;司曙光;蘇德坦;侯巍;任玲;黃國瑞;徐海洋;張昊達;曹宜起 | 申請（專利權(quán)）人： | 北方夜視技術(shù)股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J9/12 | 分類號： | H01J9/12;H01J43/08 |
| 代理公司： | 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32404 | 代理人： | 王菊花 |
| 地址： | 650217 云南*** | 國省代碼： | 云南;53 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 通道 光電倍增管 制造 溫度 均勻 排氣裝置 | ||
1.一種用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，包括：
主機臺；
設置在主機臺上的底板；
可移除地安裝到底板上的鐘罩，所述鐘罩被設置成可沿著豎直方向安裝到底板上，并且在二者結(jié)合后在鐘罩內(nèi)腔形成密閉腔體，三工位旋轉(zhuǎn)工作臺設置在鐘罩形成的密閉腔體中；
設置在底板上的升降機構(gòu)，用以帶動所述鐘罩上下運動；以及
設置在所述鐘罩形成的密閉腔體內(nèi)的加熱裝置，被設置成用于對夾持在三工位旋轉(zhuǎn)工作臺的光電倍增管玻璃球殼從側(cè)部、頂部以及中間間隙位置進行加熱；
控制單元，被設置用于控制所述加熱裝置的功率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述鐘罩具有圓形柱體部以及直徑漸變的圓頂部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括：
設置于所述鐘罩內(nèi)部的側(cè)表面的第一加熱組件；
設置于所述鐘罩頂部內(nèi)表面的第二加熱組件；以及
設置于所述鐘罩頂部中央位置并朝向底板方向延伸的第三加熱組件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述第一加熱組件和第二加熱組件分別為螺旋狀加熱絲。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述鐘罩內(nèi)部設置有多跟固定在側(cè)表面的支撐筋條，所述第一加熱組件的螺旋狀加熱絲支撐在支撐筋條上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述螺旋狀加熱絲與鐘罩之間設置有隔熱板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述隔熱板為不銹鋼隔熱板。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述第一加熱組件包括上下兩組獨立的螺旋狀加熱絲。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述鐘罩頂部內(nèi)表面的固定有冠狀支撐架，所述第二加熱組件的螺旋狀加熱絲固定支撐在冠狀支撐架上。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于微通道板型光電倍增管制造的高溫度均勻性的排氣裝置，其特征在于，所述第三加熱組件具有一固定到鐘罩頂部中央位置的柱狀件以及盤旋在柱狀件上的加熱絲。
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