[發明專利]汽車照明光源光效提高方法有效
| 申請號： | 202010077297.7 | 申請日： | 2020-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN111276581B | 公開（公告）日： | 2021-09-14 |
| 發明（設計）人： | 孫蕾蕾 | 申請（專利權）人： | 江蘇源冠汽車配件有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/02 | 分類號： | H01L33/02;H01L33/32;H01L33/44;F21S41/141;F21S43/14;F21Y115/10;F21W107/10 |
| 代理公司： | 北京成實知識產權代理有限公司 11724 | 代理人： | 陳永虔 |
| 地址： | 212000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 汽車 照明 光源 提高 方法 | ||
1.一種汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，包括將裝載有基板的載片盤置于反應腔室內，位于所述反應腔室內在所述基板上形成半結晶性層，在所述半結晶性層上形成未摻雜層，在所述未摻雜層上形成N型摻雜層，在所述N型摻雜層上形成有源層，在所述有源層上形成P型摻雜層；所述N型摻雜層中、有源層中或者N型摻雜層與有源層接觸界面至少其中之一形成石墨烯結構，形成石墨烯結構后進行加壓處理，所述加壓處理是通過通入反應腔室內的流動氣體實現，加壓處理時反應腔室壓力為760～10000Torr。
2.如權利要求1所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，所述氣體包括氫氣。
3.如權利要求1所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，加壓處理時反應腔室壓力逐漸升高。
4.如權利要求3所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，加壓處理時反應腔室壓力以10～100Torr/min逐漸升高。
5.如權利要求1至4任一所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，加壓處理時放置基板的載片盤處于旋轉狀態。
6.如權利要求5所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，加壓處理時裝載基板的載片盤旋轉速度為600～2000轉/分。
7.如權利要求6所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，加壓處理時裝載基板的載片盤旋轉速度逐漸升高。
8.如權利要求7所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，加壓處理時裝載基板的載片盤旋轉速度以20～500轉/分逐漸升高。
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