[發明專利]鍍膜裝置

在審

• 申請號: 202010075626.4
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN111058014A
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 王秀鵬;姚騫;劉世強;王斯海;張家峰;王亞楠
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（眉山）有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/34
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 劉迎春

本發明涉及一種鍍膜裝置，用于在太陽能電池片的制造過程中在太陽能電池片的基體片上鍍減反膜，鍍膜裝置包括爐體、前法蘭壁、后法蘭壁和供氣裝置，其中，鍍膜裝置上設置有連通外界和容納腔的至少兩組進氣孔，供氣裝置能夠同時通過各組進氣孔向容納腔內供氣，其中第一組進氣孔設置在后法蘭壁上，其他進氣孔設置在爐體上或前法蘭壁上。根據本發明，鍍膜裝置在爐體的不同位置處設置有進氣孔，在制造減反膜的工藝中，供氣裝置能夠經由各個進氣孔同時向爐體內供氣，以使得爐體內的各處氣體均勻地發生反應，從而在位于爐體內的不同位置處的硅片上形成厚度均勻的減反膜。

技術領域

本發明涉及太陽能電池領域，尤其涉及一種鍍膜裝置。

背景技術

隨著全球煤炭、石油、天然氣等常規化石能源消耗速度加快，生態環境不斷惡化，特別是溫室氣體排放導致日益嚴峻的全球氣候變化，人類社會的可持續發展已經受到嚴重威脅。世界各國紛紛制定各自的能源發展戰略，以應對常規化石能源資源的有限性和開發利用帶來的環境問題。太陽能憑借其可靠性、安全性、廣泛性、長壽性、環保性、資源充足性的特點已成為最重要的可再生能源之一，有望成為未來全球電力供應的主要支柱。

在新一輪能源變革過程中，我國光伏產業已成長為具有國際競爭優勢的戰略新興產業。然而，光伏產業發展仍面臨諸多問題與挑戰，轉換效率與可靠性是制約光伏產業發展的最大技術障礙，而成本控制與規模化又在經濟上形成制約。

太陽能電池片的生產工序中，鍍膜是非常關鍵的一步。鍍膜是為了在硅片表面均勻地鍍上一層高效的氮化硅減反射膜，減少光的反射損失，增強電池片吸收光的能力，提高電池效率。同時，非晶形態的氮化硅中含有一定量的氫，在燒結過程中，氮化硅中的氫擴散到硅片內部，飽和懸掛鍵而產生鈍化作用。

在鍍膜工藝中，通常通過石墨舟攜帶硅片進入爐管。當石墨舟平穩地放在管內后，在管內的環境滿足鍍膜工藝要求時，通過氣管在爐管里釋放一定比例的特定氣體，氣體發生反應形成氮化硅并附著于硅片的表面。

在制程中由于流速的影響，氣體到達每個位置的時間也不盡相同，并且在氣體流動的同時氣體也在發生反應、在消耗，所以靠近后爐門位置的氣體開始反應產生氮化硅附著在硅片上時，靠近前爐門的硅片可能還沒有氣體到達或是氣體的濃度還較低，則導致電池片的鍍膜厚度達不到預定效果。

如果將氣孔釋放氣體的時間加長，靠近前爐門的位置雖然可以獲得理想中的氣體濃度，在硅片表面可以形成理想的鍍膜厚度，但卻造成靠近后爐門的硅片在反應環境中所停留的時間過長，隨著氣體不停地反應，導致附著在硅片表面的氮化硅過多，減反膜過厚。

因而需要提供一種鍍膜裝置，以至少部分地解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種鍍膜裝置，其在爐體的不同位置處設置有進氣孔，在制造減反膜的工藝中，供氣裝置能夠經由各個進氣孔同時向爐體內供氣，以使得爐體內的各處氣體均勻地發生反應，從而在位于爐體內的不同位置處的硅片上形成厚度均勻的減反膜。

根據本發明的一個方面，提供了一種鍍膜裝置，用于在太陽能電池片的制造過程中在所述太陽能電池片的基體片上鍍減反膜，所述鍍膜裝置包括：

爐體，所述爐體內設置有用于容納所述基體片的容納腔；

前法蘭壁和后法蘭壁，所述前法蘭壁和所述后法蘭壁分別設置在所述爐體的前端和后端；以及

供氣裝置，

所述鍍膜裝置上設置有連通外界和所述容納腔的至少兩組進氣孔，所述供氣裝置能夠同時通過各組所述進氣孔向所述容納腔內供氣，其中第一組所述進氣孔設置在所述后法蘭壁上，其他所述進氣孔設置在所述爐體上或所述前法蘭壁上。