[發明專利]鍍膜裝置

在審

• 申請號: 202010075626.4
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN111058014A
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 王秀鵬;姚騫;劉世強;王斯海;張家峰;王亞楠
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（眉山）有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/34
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 劉迎春

1.一種鍍膜裝置，用于在太陽能電池片的制造過程中在所述太陽能電池片的基體片上鍍減反膜，所述鍍膜裝置包括：

爐體，所述爐體內設置有用于容納所述基體片的容納腔；

前法蘭壁和后法蘭壁，所述前法蘭壁和所述后法蘭壁分別設置在所述爐體的前端和后端；以及

供氣裝置，

其特征在于，所述鍍膜裝置上設置有連通外界和所述容納腔的至少兩組進氣孔，所述供氣裝置能夠同時通過各組所述進氣孔向所述容納腔內供氣，其中第一組所述進氣孔設置在所述后法蘭壁上，其他所述進氣孔設置在所述爐體上或所述前法蘭壁上。

2.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述爐體為圓柱形結構，所述圓柱形結構的軸線垂直于所述前法蘭壁和所述后法蘭壁并穿過所述前法蘭壁和所述后法蘭壁的中心，并且所述第一組進氣孔在所述后法蘭壁內并沿所述后法蘭壁的壁面延伸。

3.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述至少兩組進氣孔中的第二組進氣孔設置在所述爐體上，且所述第二組進氣孔和所述第一組進氣孔之間的距離為所述爐體的長度的1/4-3/4。

4.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，每一組所述進氣孔均為至少兩個，每一組的各個所述進氣孔的延伸方向彼此平行。

5.根據權利要求2所述的鍍膜裝置，其特征在于，每一組所述進氣孔均包括第一進氣孔、第二進氣孔和第三進氣孔，并且各個組的所述第一進氣孔的依次連線平行于所述軸線、各個組的所述第二進氣孔的依次連線平行于所述軸線、各個組的所述第三進氣孔的依次連線平行于所述軸線。

6.根據權利要求2所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述的鍍膜裝置，其特征在于，每一組所述進氣孔均為至少三個，且每一組的各個進氣孔的延伸方向均垂直于所述軸線。

7.根據權利要求6所述的鍍膜裝置，其特征在于，每一組的每一對相鄰的兩個所述進氣孔的延伸方向之間的夾角均相等。

8.根據權利要求2所述的鍍膜裝置，其特征在于，每一組的所有所述進氣孔在所述軸線方向上位于同一高度處，且各個組在所述軸線方向上依次等間隔排布。

9.根據權利要求8所述的鍍膜裝置，其特征在于，每一組的所述進氣孔圍繞所述軸線在相對于所述軸線的周向方向上均勻排布。

10.根據權利要求8所述的鍍膜裝置，其特征在于，在所述鍍膜裝置上，在任一平行于所述軸線的方向上都至多存在一個所述進氣孔。

11.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，

每一組中的各個所述進氣孔的徑向尺寸相等，但每一組中的所述進氣孔的徑向尺寸不同于其他組中的所述進氣孔的徑向尺寸；或者

所述鍍膜裝置的所有所述進氣孔均具有相同的徑向尺寸。

12.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述至少兩組進氣孔中的第二組進氣孔設置在所述爐體上，且所述第二組的所述進氣孔的徑向尺寸大于所述第一組的所述進氣孔的徑向尺寸。

13.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述進氣裝置還包括泵管，所述爐體上還設置有抽氣孔，所述泵管構造為能夠通過所述抽氣孔將所述容納腔內的氣體抽出。

14.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，每一組所述進氣孔處設置有相對于其他組獨立的流速調節裝置，所述流量調節裝置構造為用于調節排入氣體的流速。

15.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜裝置包括進氣管，所述進氣管為獨立于所述后法蘭壁的部件并構造為能夠安裝在所述后法蘭壁上，所述第一組進氣孔形成在所述進氣管內。