[發(fā)明專利]彩膜基板、其制造方法、顯示面板及顯示裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010075121.8 | 申請日： | 2020-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN111161632B | 公開（公告）日： | 2022-06-03 |
| 發(fā)明（設計）人： | 楊峰;方業(yè)周;陳強;李曉錦;朱芳 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號： | G02F1/1333 | 分類號： | G02F1/1333;G09F9/00;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭棟梁 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 彩膜基板 制造 方法 顯示 面板 顯示裝置 | ||
1.一種彩膜基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：
在襯底基板上形成黑矩陣，所述黑矩陣分別通過第一遮光條和第二遮光條形成長條狀結構疊加形成，使得顯影過程中顯影液與黑矩陣圖案邊緣的接觸面積充分加大而使得邊緣獲得充分的顯影，避免邊緣形成毛邊或毛刺的顯影殘留，獲得邊緣形貌整齊的黑矩陣；
其中，所述黑矩陣的形成方法包括：
在襯底基板上涂覆形成金屬鉬材料層；
在襯底基板上通過一次曝光、顯影和刻蝕形成沿像素長度方向延伸的第一遮光條圖案以及與所述第一遮光條同層設置的邊緣遮光條，所述第一遮光條采用金屬鉬材料制成，所述第一遮光條的線寬為2μm；所述邊緣遮光條沿子像素寬度方向延伸，并與每個所述第一遮光條連接；所述邊緣遮光條與地線連接；
在所述第一遮光條上形成整面涂覆一層光刻膠，經過曝光及顯影、固化后形成沿像素寬度方向延伸的第二遮光條圖案，所述第二遮光條采用有機材料制成；其中，相鄰 兩第二遮光條界定所述有機材料的曝光顯影區(qū)；
在所述第一遮光條與所述第二遮光條形成的陳列排列的像素區(qū)域形成色阻片。
2.一種彩膜基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：
在襯底基板上形成黑矩陣，所述黑矩陣分別通過第一遮光條和第二遮光條形成長條狀結構疊加形成，使得顯影過程中顯影液與黑矩陣圖案邊緣的接觸面積充分加大而使得邊緣獲得充分的顯影，避免邊緣形成毛邊或毛刺的顯影殘留，獲得邊緣形貌整齊的黑矩陣；
其中，所述黑矩陣的形成方法包括：
在襯底基板上整面涂覆一層光刻膠，經過曝光及顯影、固化后形成沿像素寬度方向延伸的第二遮光條圖案，所述第二遮光條采用有機材料制成；其中，相鄰 兩第二遮光條界定所述有機材料的曝光顯影區(qū)；
在所述第二遮光條上形成金屬鉬材料層，通過一次曝光、顯影和刻蝕沿像素長度方向延伸的第一遮光條圖案以及與所述第一遮光條同層設置的邊緣遮光條，所述第一遮光條采用金屬鉬材料制成；所述邊緣遮光條沿子像素寬度方向延伸，并與每個所述第一遮光條連接；所述邊緣遮光條與地線連接；
在所述第一遮光條與所述第二遮光條形成的陳列排列的像素區(qū)域形成色阻片。
3.一種彩膜基板，其特征在于，通過如權利要求1或2所述的方法制備形成。
4.一種顯示面板，其特征在于，所述顯示面板包括權利要求3所述彩膜基板。
5.一種顯示裝置，其特征在于，所述顯示裝置包括權利要求4所述的顯示面板。
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