[發明專利]清潔片及帶清潔功能的輸送構件在審
| 申請號： | 202010074533.X | 申請日： | 2020-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN111498430A | 公開（公告）日： | 2020-08-07 |
| 發明（設計）人： | 深道佑一 | 申請（專利權）人： | 日東電工株式會社 |
| 主分類號： | B65G45/10 | 分類號： | B65G45/10;C09D179/04;C09J7/24;C09J7/25;C09J7/29 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清潔 功能 輸送 構件 | ||
【權利要求書】：
1.一種清潔片，其具備清潔層，
該清潔層對仿真晶圓的鏡面的、由JIS-Z-0237規定的180度剝離粘合力B為10N/10mm以上。
2.根據權利要求1所述的清潔片，其中，所述清潔層的基于交叉切割法得到的、清潔層對仿真晶圓的鏡面的殘留數為15/25以上。
3.根據權利要求1或2所述的清潔片，其中，所述清潔層的厚度為1μm～500μm。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的清潔片，其包含粘合劑層。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的清潔片，其包含支撐體。
6.一種帶清潔功能的輸送構件，其具有權利要求1～5中任一項所述的清潔片、以及輸送構件。
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