[發(fā)明專利]一種顯示面板的制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010069744.4
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN111244331A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱穎暉;劉建立;姜海峰;金躍康;王傳俊
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52
• 代理公司: 上海晨皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本發(fā)明實施例涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種顯示面板的制備方法，包括：在顯示面板的發(fā)光像素層上制備第一無機層；確定第一無機層遠離發(fā)光像素層的表面存在缺陷的第一缺陷區(qū)域；去除掉位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口；在第一缺口重新制備第一無機層。本發(fā)明實施例中提供的一種顯示面板的制備方法，能夠提升顯示面板的良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實施例涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種顯示面板的制備方法。

背景技術(shù)

柔性顯示是平板顯示的重要發(fā)展方向，柔性顯示面板上的發(fā)光像素層上方形成有包含第一無機層、有機層以及第二無機層的封裝層，以此來抵抗水氧對有機發(fā)光半導(dǎo)體器件(OrganicLight-Emitting Diode，OLED)的侵蝕。

然而，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有采用化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition，CVD)方法制備第一無機層時，第一無機層在成膜過程中容易掉落顆粒物形成缺陷，使得顯示面板的良率不高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施方式的目的在于提供一種顯示面板的制備方法，能夠提升顯示面板的良率。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實施方式提供了一種顯示面板的制備方法，包括：在顯示面板的發(fā)光像素層上制備第一無機層；確定第一無機層遠離發(fā)光像素層的表面存在缺陷的第一缺陷區(qū)域；去除掉位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口；在第一缺口重新制備第一無機層。

另外，在第一缺口重新制備第一無機層后，還包括：在第一無機層遠離發(fā)光像素層的一側(cè)依次制備有機層和第二無機層；確定第二無機層遠離發(fā)光像素層的表面存在缺陷的第二缺陷區(qū)域；去除掉位于第二缺陷區(qū)域的第二無機層以形成第二缺口；在第二缺口重新制備第二無機層。

另外，在去除掉位于第二缺陷區(qū)域的第二無機層以形成第二缺口之后，且在第二缺口重新制備第二無機層之前，還包括：利用惰性氣體吹掃第二缺口。

另外，在去除掉位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口之后，且在第一缺口重新制備第一無機層之前，還包括：利用惰性氣體吹掃第一缺口。

另外，確定第一無機層遠離發(fā)光像素層的表面存在缺陷的第一缺陷區(qū)域，包括：獲取第一無機層遠離發(fā)光像素層的表面的圖像；根據(jù)圖像確定缺陷所在位置；依據(jù)缺陷所在位置確定第一缺陷區(qū)域。

另外，去除掉位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口，包括：確定位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層的面積大小；獲取開口區(qū)域的面積不小于第一缺陷區(qū)域的面積的掩膜版；利用掩膜版去除掉位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口。

另外，在獲取開口區(qū)域的面積不小于第一缺陷區(qū)域的面積的掩膜版之后，且利用掩膜版去除掉位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口之前，還包括：移動掩膜版以使掩膜版的開口區(qū)域?qū)实谝蝗毕輩^(qū)域；或者，移動顯示面板以使掩膜版的開口區(qū)域?qū)实谝蝗毕輩^(qū)域。

另外，利用掩膜版去除掉位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口，包括：利用掩膜版采用干法刻蝕工藝，去除掉第一缺陷區(qū)域的第一無機層以形成第一缺口。

另外，干法刻蝕工藝具體為氟化物等離子體刻蝕工藝。

另外，氟化物等離子體具體為三氟化氮等離子體。

現(xiàn)有技術(shù)中若第一無機層表面存在缺陷，容易導(dǎo)致第二無機層表面凸起損壞，針對于第二無機膜層表面有凸起損壞的顯示面板，通常會作報廢處理或?qū)⒃擄@示面板歸為低良率的等級，使得顯示面板的良率不高。針對于此，本發(fā)明實施方式提供了一種顯示面板的制備方法，通過確定第一無機層遠離發(fā)光像素層的表面存在缺陷的第一缺陷區(qū)域，從而將位于第一缺陷區(qū)域的第一無機層去除掉并重新制備，修復(fù)了第一無機層表面的缺陷，且即使水氧能夠穿過第二無機層，也會被第一無機層阻隔在顯示面板外，且避免了第一無機層上存在的缺陷而導(dǎo)致第二無機層的表面凸起損壞，從而提高了顯示面板的良率。