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[發明專利]吊頂輸送車有效

專利信息
申請號: 202010068516.5 申請日: 2020-01-21
公開(公告)號: CN111591695B 公開(公告)日: 2023-03-28
發明(設計)人: 鈴木正美;大塚洋;衣川知孝 申請(專利權)人: 株式會社大福
主分類號: B65G35/00 分類號: B65G35/00
代理公司: 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432 代理人: 王軼;陳東升
地址: 日本國*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 吊頂 輸送
【說明書】:

在本發明所涉及的實施方式的一例的吊頂輸送車(10)中,在沿著包括主軌道和分支軌道的輸送軌道行進的吊頂輸送車(10)上方分別在行進方向的左側和右側設置有至少一個的引導輥(32L、32R),由主軌道的主導軌(40M)或者分支軌道的分支導軌(40B)的外表面引導。該主導軌(40M)或者分支導軌(40B)設置于吊頂輸送車(10)的至少一對的左右的行進車輪(18L、18R)通過的區域的上方。

技術領域

本發明涉及吊頂輸送車,尤其涉及沿著包括主軌道和分支軌道的輸送軌道行進的吊頂輸送車。

背景技術

以往,對于半導體制造工廠等的執行包括對物品進行輸送的工序的作業的設備而言,有時為了物品的輸送而使用如圖5所示的吊頂輸送車80。此外,圖5是示出從其行進方向的后方觀察吊頂輸送車80的情形的后視圖。該吊頂輸送車80具有行進臺車86、側輥89L、89R以及引導輥87。行進臺車86具備左右一對的車輪88。側輥89L、89R在行進臺車86的下方設置為左右一對。引導輥87在行進臺車86的上方設置為能夠沿左右方向滑動。并且,如圖5中的虛擬線所示,在行進臺車86的下方連接有物品保持部84,該物品保持部84對成為輸送對象的物品82(例如對半導體基板進行收納的殼體等)進行保持。

行進臺車86的車輪88支承于左右一對的行進鐵軌92、94。通過利用懸吊裝置90從設備的頂壁進行懸吊等方法而將該行進鐵軌92、94設置于設備的頂壁側。并且,行進鐵軌92、94沿著預先規定的輸送軌道而形成吊頂輸送車80的行進路徑。車輪88在該行進鐵軌92、94上滾動,并且側輥89L、89R沿著行進鐵軌92、94的內表面(圖中內側的側面),由此能夠使得行進臺車86沿著輸送軌道在設備內行進。臺車86這樣行進而沿著輸送軌道對保持于與行進臺車86連接的物品保持部84的物品82進行輸送。

另外,有時輸送軌道在設備內向2個方向以上的方向分岔(分支)。在這樣的情況下,為了將吊頂輸送車80向適當的分岔目的地(方向)引導,在分支地點的附近將引導鐵軌96設置于行進鐵軌92、94的上方。雖然這里并未圖示,但該引導鐵軌96在分支地點設置為兩岔狀。根據引導輥87與該兩岔狀的引導鐵軌96的哪一側接觸并滾動(被引導)的情況而使得吊頂輸送車80的行進方向發生變化。

如前所述,圖5所示的引導輥87能夠沿圖中的左右方向滑動,從而能夠選擇與引導鐵軌96的圖中的右側的側面和左側的側面中的哪一方接觸。對吊頂輸送車80的動作進行控制的控制器(未圖示)使引導輥87沿左右方向滑動,由此選擇與物品82應當被輸送的目的地相應的適當的分支目的地。

作為一例而示出了如下結構的情況:輸送軌道分支出直行的主軌道和朝向右側的分支軌道,引導鐵軌96沿著該輸送軌道而分支出直線狀的部分和右轉的部分這兩個分岔部分。如圖5所示,若以與引導鐵軌96的右側面接觸的方式對引導輥87進行引導,則吊頂輸送車80由引導鐵軌96的右轉部分引導而朝向右側,從而將該吊頂輸送車80向分支軌道引導。另一方面,如圖5中的虛擬線所示,若以與引導鐵軌96的左側面接觸的方式對引導輥87進行引導,則吊頂輸送車80由引導鐵軌96的直線狀的部分引導而保持原樣地直行,從而將該吊頂輸送車80向主軌道引導。

為了使上述吊頂輸送車80沿著預先規定的輸送軌道以準確且盡量不引起振動的方式行進,必須以準確的位置關系設置行進鐵軌92、94、引導鐵軌96。日本特開2018-062241號公報中公開了用于對這樣的各鐵軌的設置狀態進行檢查的鐵軌檢查裝置。

發明內容

然而,在現有技術中,即便使用如日本特開2018-062241號公報中記載的鐵軌檢查裝置,也難以準確地設置各鐵軌。如圖5中記載的那樣,現有的用于對吊頂輸送車80進行引導的引導鐵軌96相對于左右一對的行進鐵軌92、94設置于左右方向的中央上方。因此,在引導鐵軌96的位置調整時,作業者必須在行進鐵軌92、94彼此間的廣闊范圍內進行調整。并且,如上所述,引導輥87有可能與引導鐵軌96的左側面接觸,也有可能與右側面接觸。因此,必須將導軌96設置為使得其左側面和右側面的雙方處于準確的位置、朝向。難以這樣將引導鐵軌96設置為雙方的側面均處于準確的位置和朝向。

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