[發明專利]一種用于倒裝焊的液壓裝置

有效

• 申請號: 202010064151.9
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN111390465B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 黃立;金迎春;劉斌;周文洪
• 申請（專利權）人: 武漢高芯科技有限公司
• 主分類號: H01L21/603
• 分類號: H01L21/603
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 鄭飛

1.一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，所述液壓裝置包括下壓裝置(100)，所述下壓裝置(100)包括裝置主體(11)及用于下部安裝待加工工件的安裝板(22)；

所述裝置主體(11)內設有用于盛裝高壓液體的空腔(112)以及多個滑道(111)，各所述滑道(111)位于所述空腔(112)的下側，所述安裝板(22)的上表面上設有多個壓力柱(21)，各所述壓力柱(21)滑動固定于各所述滑道(111)內，所述空腔(112)內可通入高壓液體推動各所述壓力柱(21)向下運動；

所述裝置主體(11)的底部一側設有抽氣口(12)，所述安裝板(22)設有多個真空孔(5)，所述抽氣口(12)與各所述真空孔(5)相連通。

2.根據權利要求1所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，各所述壓力柱(21)均勻分布于所述安裝板(22)的上表面上，各所述滑道均勻分布于所述空腔的下側。

3.根據權利要求1所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，初始狀態下所述安裝板(22)的邊緣與所述裝置主體(11)的底面相抵，當待加工工件安裝于所述安裝板(22)上時，通過對抽氣口(12)抽氣，透過真空孔(5)可將待加工工件吸緊于所述安裝板(22)的底部。

4.根據權利要求1所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，所述下壓裝置(100)還包括密封件(4)，所述密封件(4)密封安裝于所述裝置主體(11)下表面邊緣與所述安裝板(22)的上表面邊緣之間。

5.根據權利要求4所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，所述密封件(4)為密封圈。

6.根據權利要求4所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，所述裝置主體(11)內具有4排5列均勻分布的滑道(111)，所述安裝板(22)上具有4排5列均勻分布的壓力柱(21)。

7.根據權利要求3所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，所述真空孔(5)的個數為5個，5個所述真空孔(5)均勻分布于各所述壓力柱(21)之間。

8.根據權利要求1所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，所述液壓裝置還包括用于安裝讀出電路(105)的承托裝置(200)，所述承托裝置(200)設置于所述下壓裝置(100)的下方，所述安裝板(22)的下部用于安裝半導體材料(103)。

9.根據權利要求1-8任一所述一種用于倒裝焊的液壓裝置，其特征在于，所述空腔(112)內的高壓液體為液壓油。