[發明專利]濃度控制裝置、零點調整方法以及程序存儲介質

在審

• 申請號: 202010059308.9
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN111488003A
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 志水徹;南雅和
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G05D11/13
• 分類號: G05D11/13
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 楊敏;金玉蘭

1.一種濃度控制裝置，其特征在于，設置于汽化器，所述汽化器具備：容納有材料的罐、將所述材料汽化而成的材料氣體從所述罐向外部導出的導出流路、以及向所述導出流路供給與所述材料氣體不同的其他氣體的氣體供給流路，

所述濃度控制裝置具備：

控制閥，其控制在所述導出流路中流動的氣體；

濃度檢測機構，其設置于所述導出流路，對在該導出流路中流動的氣體中所含的材料氣體的濃度進行檢測；

濃度控制器，其以使由所述濃度檢測機構檢測出的檢測濃度與預先設定的設定濃度之間的偏差變小的方式控制所述控制閥；

基準時刻判定部，其對存在于通過所述濃度檢測機構進行濃度檢測的檢測部的氣體已被替換為所述其他氣體的時刻即基準時刻進行判定；以及

調零部，其在基準時刻以后進行所述濃度檢測機構的調零。

2.根據權利要求1所述的濃度控制裝置，其特征在于，所述汽化器還具備向所述罐導入作為所述其他氣體的載氣的導入流路，

所述氣體供給流路是避開所述罐而將所述導入流路與所述導出流路之間連接的旁通流路，

所述基準時刻判定部構成為：將存在于所述檢測部的氣體已被替換為介由所述旁通流路而供給的載氣的時刻判定為基準時刻。

3.根據權利要求1所述的濃度控制裝置，其特征在于，

所述氣體供給流路是向所述導入流路導入作為其他氣體的稀釋氣體的稀釋氣體流路，

所述基準時刻判定部構成為：將存在于所述檢測部的氣體已被替換為稀釋氣體的時刻判定為基準時刻。

4.根據權利要求1所述的濃度控制裝置，其特征在于，所述濃度控制裝置構成為：使所述基準時刻判定部基于從所述氣體供給流路對所述導出流路供給其他氣體的供給點至所述濃度檢測機構為止的容積和從所述氣體供給流路供給的其他氣體的流量來判定基準時刻。

5.根據權利要求4所述的濃度控制裝置，其特征在于，所述容積包括形成所述導出流路的管道內的第一容積和使氣體從所述管道內流入并通過所述濃度檢測機構檢測濃度的單元的第二容積，

所述基準時刻判定部構成為利用第一時間和第二時間來判定基準時刻，所述第一時間為第一容積的氣體被其他氣體替換的時間，所述第二時間為第二容積的氣體被其他氣體替換的時間。

6.根據權利要求5所述的濃度控制裝置，其特征在于，所述基準時刻判定部將其他氣體的累積流量所表示的體積達到所述第一容積為止的時間計算為所述第一時間。

7.根據權利要求5所述的濃度控制裝置，其特征在于，所述基準時刻判定部構成為：基于下述的材料氣體的殘留率的預測式來計算所述單元的氣體被其他氣體替換的時間作為第二時間，

R_i＝R_i-1(Exp(-Q/V×Δt))

其中，R_i為當前時刻的材料氣體的殘留率，R_i-1為單位時間Δt前的材料氣體的殘留率，Q為其他氣體的流量，V為作為借由其他氣體的替換對象的單元的第二容積。

8.根據權利要求1所述的濃度控制裝置，其特征在于，所述濃度檢測機構具備：

總壓傳感器，其對存在于所述檢測部的氣體的總壓進行檢測；

分壓傳感器，其對存在于所述檢測部的氣體中的材料氣體的分壓進行檢測；以及

濃度計算部，其基于由所述總壓傳感器檢測出的總壓和由所述分壓傳感器檢測出的分壓來計算存在于所述檢測部的氣體中的材料氣體的濃度，

所述基準時刻判定部基于由所述分壓傳感器檢測出的分壓來判定基準時刻。