[發明專利]真空閘閥

有效

• 申請號: 202010054728.8
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN111577912B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 金度烈;李成起
• 申請（專利權）人: 茶山株式會社
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/20;F16K3/314;F16K3/316;F16K27/04;F16K31/163;F16K31/54;F16K51/02
• 代理公司: 北京鍾維聯合知識產權代理有限公司 11579
• 代理人: 羅銀燕

本發明具有如下的優點，可通過在開閉流體通道時提供氣密來完美地阻隔在流體通道上流動的副產物向閥的內部流入，由此可確保運行的可靠性，可防止閥的內部部件腐蝕，簡單的內部結構具有經濟性，結構上可通過一個驅動部(氣缸)來使葉片進行前進、后退以及上下移動。

技術領域

本發明涉及真空閘閥，更詳細地涉及如下的真空閘閥，即，可通過在開閉流體通道時提供氣密來完美地阻隔在流體通道上流動的副產物向閥的內部流入，由此可確保運行的可靠性，可防止閥的內部部件腐蝕，簡單的內部結構具有經濟性。

背景技術

通常，真空閘閥為結構上由閥本體開閉流體通道的閥，在工業現場中，主要在半導體或液晶二極管制造線上設置于腔室與真空泵之間，起到對向腔室傳遞真空泵的吸入力進行開閉的作用。

在相關行業中，為了提高對真空閘閥的閥性能起到關鍵作用的泄漏率、壓力范圍、排氣及開閉壽命，開發了多種技術。

例如，在韓國授權專利公報第10-0954212號(授權日期：2010年04月14日)中公開了可順暢地進行開閉動作的真空閘閥。根據該授權專利，包括：閥主體10，設置有上下方向上的流體通道11，具有相對于該流體通道11垂直的滑動空間14；閥板20，通過在上述滑動空間14內前進或后退來對流體通道11進行開閉；閥板驅動部40，沿著水平方向驅動上述閥板20；密封部件50，通過沿著相對于上述流體通道11平行的方向進行升降，來開閉滑動空間14；以及密封部件驅動部60，用于驅動上述密封部件50。該授權專利的主要特征在于，在使閥板20插入于滑動空間14內的狀態下，閥板20可借助流體通道11內的壓力差或密封部件50的上升力來進行升降。詳細地，在外力作用到閥板20的上部面或下部面的情況下，即，在構成流體通道11的流入部12和流出部13產生壓力差或密封部件50上升的情況下，通過彈簧22的作用來使上部或下部伸縮，從而可進行升降。

但是，在該授權專利技術中，除了通過在滑動空間14內進行前進或后退來開閉流體通道11的閥板20之外，還包括通過沿著相對于流體通道11平行的方向升降來開閉滑動空間14的密封部件50及其驅動部60，因而，存在復雜的結構導致運行效率下降且缺乏經濟性的問題。并且，由于采用通過結構復雜的密封部件50及其驅動部60來防止閥內部的壓差的方式，因而有必要在起到相同作用的情況下使結構變得簡單。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：韓國授權專利公報第10-0954212號(授權日期：2010年04月14日)

專利文獻2：韓國授權專利公報第10-1258486號(授權日期：2013年04月22日)

專利文獻3：韓國授權專利公報第10-1258497號(授權日期：2013年04月22日)

發明內容

本發明用于解決如上所述的問題，本發明的目的在于提供如下的真空閘閥，即，可通過在開閉流體通道時提供氣密來完美地阻隔在流體通道上流動的副產物向閥內部流入，可防止閥部件腐蝕，簡單的內部結構具有經濟性，結構上可通過一個驅動部(氣缸)來使葉片進行前進、后退以及上下移動。

并且，本發明的目的在于提供如下的真空閘閥，即，可在去除上部的真空腔室與下部的真空泵之間的壓力差的同時有效去除在閥內部產生的壓差。