[發明專利]真空閘閥

有效

• 申請號: 202010054728.8
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN111577912B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 金度烈;李成起
• 申請（專利權）人: 茶山株式會社
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/20;F16K3/314;F16K3/316;F16K27/04;F16K31/163;F16K31/54;F16K51/02
• 代理公司: 北京鍾維聯合知識產權代理有限公司 11579
• 代理人: 羅銀燕

1.一種真空閘閥，包括：主要主體，呈上部開放的四邊形箱體形狀，在內部一側沿著上下方向垂直貫通形成流體通道；葉片，能夠在上述主要主體的內部空間進行水平移動，用于開閉上述流體通道；齒輪箱，在上述主要主體的下部一側安裝成一體，在內部設置有用于使上述葉片水平移動的傳動裝置；以及上部罩，安裝于上述主要主體的開放的上部，

上述真空閘閥的特征在于，

在上述流體通道插入配置起到流入部作用的第一管道部件和起到排出部作用的第二管道部件，上述第一管道部件包括限制流入流路的圓筒形的上部管道部分，上述第二管道部件包括限制排出流路的圓筒形的下部管道部分，

在上述主要主體的內部底面上，在上述流體通道的周邊配置第一支撐板，上述第一支撐板在中心部位形成有內徑與上述流體通道的內徑相同的開口部，通過配置于上述第一支撐板的下部面的多個壓縮彈簧來沿著垂直方向彈性支撐上述第一支撐板，

上述葉片在上述主要主體內固定安裝于呈U字形的葉片叉件，能夠隨著以能夠沿著長度方向直立的方式分別配置于上述主要主體的兩側壁上的一對軌道水平移動，

在上述第一支撐板的兩側分別形成臺階形狀的臺階部，

在上述臺階部的表面上分別配置用于引導上述葉片的精密動作的凸輪從動件軌道，

上述凸輪從動件軌道使長度方向的兩端部呈錐形，使形狀朝向末端逐漸變細。

2.根據權利要求1所述的真空閘閥，其特征在于，

在上述上部管道部分的中間位置貫通形成第一孔，

上述第一孔與從第一緩慢抽吸裝置延伸的第一緩慢抽吸管道的自由端部流體連接，上述第一緩慢抽吸裝置用于去除上述真空閘閥上部的真空腔室與上述真空閘閥下部的真空泵之間的壓力差，

在上述下部管道部分的中間部位貫通形成第二孔，

上述第二孔與從第二緩慢抽吸裝置延伸的第二緩慢抽吸管道的自由端部流體連接，上述第二緩慢抽吸裝置用于去除在上述真空閘閥的內部產生的壓差。

3.根據權利要求1所述的真空閘閥，其特征在于，

在上述葉片的兩側邊緣形成多個連接片，在上述多個連接片分別形成貫通孔，

與之對應地，在上述葉片叉件的桿形狀腿部分的上側形成用于安裝并收容多個連接片的多個凹陷部，在上述多個凹陷部分別形成堵塞孔，

在上述多個連接片分別安裝于上述多個凹陷部內的狀態下，上述葉片通過經由上述多個連接片的貫通孔并向上述多個凹陷部的堵塞孔插入的緊固螺栓來固定安裝于上述葉片叉件。

4.根據權利要求3所述的真空閘閥，其特征在于，

在上述葉片叉件的前方位置及上述腿部分的兩側面配置多個第一滾珠軸承，

上述多個第一滾珠軸承中的一部分第一滾珠軸承能夠沿著上述軌道移動，當通過上述傳動裝置的啟動來使上述葉片叉件向上述流體通道側移動時，在上述多個第一滾珠軸承中，在上述葉片叉件的前方端部單獨設置的第一滾珠軸承在上述凸輪從動件軌道上滑行。