[發(fā)明專利]一種PECVD設(shè)備加熱裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010047226.2
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號(hào): CN113122826A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅才旺;龔俊
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;C23C16/52
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008
• 代理人: 徐好

1.一種PECVD設(shè)備加熱裝置，包括加熱盤(1)以及多根設(shè)于加熱盤(1)中間區(qū)域的支撐桿(2)，所述加熱盤(1)內(nèi)設(shè)有多圈加熱電阻絲(4)，所述支撐桿(2)位于所述加熱電阻絲(4)的內(nèi)側(cè)，其特征在于：PECVD設(shè)備加熱裝置還包括輻射加熱部件(3)，所述輻射加熱部件(3)設(shè)于所述加熱盤(1)的下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD設(shè)備加熱裝置，其特征在于：所述輻射加熱部件(3)為面加熱部件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的PECVD設(shè)備加熱裝置，其特征在于：所述輻射加熱部件(3)與所述加熱盤(1)之間的間距可調(diào)。