[發明專利]一種真空用多層晶圓支撐機構

在審

• 申請號: 202010046012.3
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN113130373A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 林峰雪
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，包括升降橫梁(1)及設置于所述升降橫梁(1)兩端且結構相同的第一晶圓支撐機構(A)和第二晶圓支撐機構(B)，所述第一晶圓支撐機構(A)和第二晶圓支撐機構(B)均為多層結構，并且協同作用可支撐多個晶圓。

2.根據權利要求1所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述第一晶圓支撐機構(A)和所述第二晶圓支撐機構(B)均包括支架墊片A(2)、支架墊片B(3)、晶圓支撐臂A(4)、晶圓支撐臂B(5)及晶圓支撐棒(7)；

所述晶圓支撐臂A(4)和晶圓支撐臂B(5)由上至下依次設置于所述升降橫梁(1)的下方，所述晶圓支撐臂A(4)和所述晶圓支撐臂B(5)的兩端均設有晶圓支撐棒(7)；

所述支架墊片A(2)設置于所述升降橫梁(1)和晶圓支撐臂A(4)之間；所述支架墊片B(3)設置于所述晶圓支撐臂A(4)和晶圓支撐臂B(5)之間；

所述升降橫梁(1)、支架墊片A(2)及晶圓支撐臂A(4)通過銷軸定位螺釘(11)與所述支架墊片B(3)連接；

所述晶圓支撐臂B(5)通過沉頭螺釘(8)與所述支架墊片B(3)連接。

3.根據權利要求2所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述晶圓支撐臂A(4)通過定位銷(10)與所述支架墊片B(3)定位連接。

4.根據權利要求3所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述定位銷(10)為兩個，所述晶圓支撐臂A(4)上設有分別與兩個所述定位銷(10)定位連接的圓形定位孔(17)和腰形定位孔(16)。

5.根據權利要求2所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述升降橫梁(1)上螺紋連接有兩個頂絲A(12)，兩個頂絲A(12)的端部與所述晶圓支撐臂A(4)抵接，用于調整所述晶圓支撐臂A(4)的水平度。

6.根據權利要求2所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述升降橫梁(1)、支架墊片A(2)及晶圓支撐臂A(4)上相對應的設有光孔，所述銷軸定位螺釘(11)依次穿過所述升降橫梁(1)、支架墊片A(2)及晶圓支撐臂A(4)上相對應的光孔，并且與所述支架墊片B(3)螺紋連接。

7.根據權利要求2所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述晶圓支撐臂B(5)上螺紋連接有兩個頂絲B(9)，兩個所述頂絲B(9)的端部與所述支架墊片B(3)抵接，通過兩個所述頂絲B(9)調整所述晶圓支撐臂B(5)的水平度。

8.根據權利要求2所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述晶圓支撐臂A(4)和所述晶圓支撐臂B(5)均為與晶圓的外圓周相適應的弧形結構，所述晶圓支撐臂A(4)和所述晶圓支撐臂B(5)的兩端均設有彈性開口，所述晶圓支撐棒(7)插設于所述彈性開口內，并且通過螺釘(6)將所述彈性開口鎖緊，所述晶圓支撐棒(7)為石英棒。

9.根據權利要求1所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述升降橫梁(1)的兩端均通過固定螺釘(13)與外部升降機構連接，并且通過與所述升降橫梁(1)螺紋連接的調平頂絲(14)調整所述升降橫梁(1)的水平度。

10.根據權利要求9所述的真空用多層晶圓支撐機構，其特征在于，所述固定螺釘(13)穿過所述升降橫梁(1)上設有的光孔，并且與所述外部升降機構螺紋連接。