[發明專利]一種PET鍍膜方法、鍍膜PET有效
| 申請號： | 202010045208.0 | 申請日： | 2020-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN111172500B | 公開（公告）日： | 2022-04-01 |
| 發明（設計）人： | 陸張武;徐勇軍;李恭劍;王迎;徐征馳 | 申請（專利權）人： | 浙江晶馳光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/20 | 分類號： | C23C14/20;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 浙江千克知識產權代理有限公司 33246 | 代理人： | 張海兵 |
| 地址： | 318001 浙江省臺州市椒江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 pet 鍍膜 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種PET鍍膜方法，其特征在于，包括:
步驟S01,在PET基板表面濺鍍Ti；
步驟S02，在濺鍍Ti層的PET基板上依次濺鍍Al2O3、TiO2、Al2O3、SiO2。
2.根據權利要求1所述的一種PET鍍膜方法，其特征在于，步驟S01具體包括：真空濺射鍍膜機對腔體抽真空；在PET基板表面濺鍍Ti。
3.根據權利要求2所述的一種PET鍍膜方法，其特征在于，步驟S01濺鍍Ti層的厚度為20-200nm。
4.根據權利要求1所述的一種PET鍍膜方法，其特征在于，所述步驟S02中鍍膜溫度不超過200℃。
5.根據權利要求1所述的一種PET鍍膜方法，其特征在于，鍍膜的膜厚不超過300nm。
6.根據權利要求1所述的一種PET鍍膜方法，其特征在于，鍍膜后的PET基板具有400-700nm波段的吸光特性。
7.一種鍍膜PET，其特征在于，采用上述權利要求1的PET鍍膜方法制備；所述PET包括PET基板、膜層、Ti層；所述Ti層設于PET基板和膜層之間；所述膜層由Al2O3、TiO2、Al2O3、SiO2構成。
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