[發明專利]一種帶上料器真空氣相沉積爐

有效

• 申請號: 202010044041.6
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN113124683B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 言偉雄
• 申請（專利權）人: 株洲弗拉德科技有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D3/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D11/10;F27D19/00;C23C16/44
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 楊千尋;馮振寧

本發明提出了一種帶上料器真空氣相沉積爐，所述真空氣相沉積爐包括加熱爐體、爐體內設有螺旋式上料器，爐身還設有上電極和下電極。所述上電極和下電極分別與射頻電源的兩個輸出電極相連或/和直流電源的兩個輸出電極相連。各部分受控的氣壓、氣氛、電場、磁場、加熱方式組合使用實現對粉體材料的真空氣相沉積工藝。具有效率高，反應快速的優點。

技術領域

本發明涉及粉體熱處理技術領域，更具體地，涉及一種粉體專用多攪拌軸真空氣相沉積爐。

背景技術

現有技術對制品材料實施表面氣相沉積較為成熟，但粉體材料表面氣相沉積技術有待提高，隨著科學技術的不斷進步，一些高端粉體材料需要在基體顆粒表面均勻、牢固的沉積或包覆一層納米材料。

現有粉體氣相沉積技術一般采用轉爐或沸騰爐。但轉爐由于氣體與粉體不能充分接觸，導致效率較低；沸騰爐由于真空度低難以滿足產品品質需求。

發明內容

本發明要解決的技術問題是針對現有技術不足和缺陷，提供一種能夠提供多種氣相沉積環境，表面沉積均勻、沉積材料與基體材料粘結牢固的帶有定向上料器的真空氣相沉積爐。

本發明為解決所述技術問題所提供的技術方案為：

一種帶上料器真空氣相沉積爐，包括爐身（1）和爐蓋(2)；所述爐身（1）為一容器，爐身內為爐膛，爐身內設有上料器（8）；爐身（1）外側設有加熱元件和保溫層；

所述爐蓋（2）設置在爐身（1）上方，爐蓋內側設有保溫層；爐蓋（2）上至少設有一個真空管道（3），真空管道（3）底部設有進氣口，進氣口伸入爐身內，真空管道（3）連接抽真空裝置（305）；

所述爐身內設有上電極（5）和下電極（20），所述上電極（5）包括底部的上電極板（501），上電極板（501）上設有至少一個布氣孔，所述布氣孔連接進氣管（502）和進氣接頭（503），工作氣體通過進氣接頭（503）、進氣管（502）、上電極板（501）上的布氣孔進入爐膛；

所述下電極（20）布置在上電極（501）與上料器（8）之間；所述下電極包括下電極板（2001）和連桿（2002），所述連桿連接爐身外的震動裝置（21），所述下電極板（2001）上設有布料通孔；

所述上電極（5）和下電極（20）分別與射頻電源（14）的兩個輸出電極相連或/和直流電源（15）的兩個輸出電極相連。

進一步地，所述上料器（8）為螺旋循環上料器。

進一步地，所述螺旋循環上料器（8）包括套管（801）、螺帶轉軸（802）、上固定支架（803）、下固定支架（805）、導流套（804）；固定架將套管（801）固定在爐身中心垂直軸線位置，導流套（804）設置在套管（801）頂部并靠近下電極板（2001）的底面位置；螺帶轉軸（802）設在套管（801）內，底部通過密封件與爐身（1）外部的旋轉驅動裝置（806）連接。

進一步地，所述下電極還包括套管（2004）、端板（2005），所述連桿（2002）通過端板（2005）與震動裝置（21）連接，下電極板（2001）在震動裝置（21）的驅動下震動。

進一步地，下電極板（2001）上端面為圓錐面或球面或平面或圓弧面或它們之間的任意組合。

進一步地，所述爐身外部設有支撐架（10）；爐體上還布置有稱重傳感器（9），所述稱重傳感器（9）布置于加熱爐體爐身（1）與其爐體支撐架（10）之間，或布置于地面上對加熱爐體和爐體支撐架（10）予以支撐。

進一步地，爐蓋（2）上至少設有一個法蘭窗口（201），每個法蘭窗口（201）上設有帶通孔的絕緣蓋板（11），上電極（5）穿過絕緣蓋板（11）的通孔，并固定在絕緣蓋板（11）上。