[發明專利]一種帶上料器真空氣相沉積爐

有效

• 申請號: 202010044041.6
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN113124683B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 言偉雄
• 申請（專利權）人: 株洲弗拉德科技有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D3/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D11/10;F27D19/00;C23C16/44
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 楊千尋;馮振寧

1.一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，包括爐身(1)和爐蓋(2)；所述爐身(1)為一容器，爐身內設有上料器(8)；爐身(1)設有加熱元件(1010)和保溫層；所述爐蓋(2)設置在爐身(1)上方，爐蓋內側設有保溫層；爐蓋(2)上至少設有一個真空管道(3)，真空管道(3)底部設有進氣口，所述進氣口伸入爐身內，真空管道(3)連接抽真空裝置(305)；

所述爐身內設有上電極(5)和下電極(20)，所述上電極(5)包括底部的上電極板(501)，上電極板(501)上設有至少一個布氣孔，所述布氣孔連接進氣管(502)和進氣接頭(503)，工作氣體通過進氣接頭(503)、進氣管(502)、上電極板(501)上的布氣孔進入爐身內；所述下電極(20)布置在上電極板(501)與上料器(8)之間；所述下電極包括下電極板(2001)和連桿(2002)，所述連桿連接爐身外的震動裝置(21)，所述下電極板(2001)上設有布料孔；

所述上電極(5)和下電極(20)分別與射頻電源(14)的兩個輸出電極相連或/和直流電源(15)的兩個輸出電極相連。

2.根據權利要求1所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，所述上料器(8)為螺旋循環上料器。

3.根據權利要求2所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，所述螺旋循環上料器(8)包括套管(801)、螺帶轉軸(802)、上固定支架(803)、下固定支架(805)、導 流套(804)；固定支架將套管(801)固定在爐身中心位置，導流套(804)設置在套管(801)頂部并靠近下電極板(2001)的底面位置；螺帶轉軸(802)設在套管(801)內，底部通過密封件與爐身(1)外部的旋轉驅動裝置(806)連接。

4.根據權利要求1所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，所述下電極還包括套管(2004)、端板(2005)，所述連桿(2002)通過端板(2005)與震動裝置(21)連接，下電極板(2001)在震動裝置(21)的驅動下震動。

5.根據權利要求4所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，下電極板(2001)上端面為圓錐面、平面、圓弧面或它們之間的任意組合。

6.根據權利要求1所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，所述爐身外部設有支撐架(10)；爐體上還布置有稱重傳感器(9)，所述稱重傳感器(9)布置于加熱爐體爐身(1)與其爐體支撐架(10)之間，或布置于地面上對加熱爐體和爐體支撐架(10)予以支撐。

7.根據權利要求1所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，爐蓋(2)上至少設有一個法蘭窗口(201)，每個法蘭窗口(201)上設有帶通孔的絕緣蓋板(11)，上電極(5)穿過絕緣蓋板(11)的通孔，并固定在絕緣蓋板(11)上。

8.根據權利要求7所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，上電極(5)的數量大于或等于法蘭窗口的數量，即可多個上電極(5)共用一個法蘭窗口(201)。

9.根據權利要求1所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，所述進氣接頭(503)上連接干路氣體流量計(504)，所述干路氣體流量計(504)進氣端設有至少兩個支路氣體流量計。

10.根據權利要求1所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，所述真空管道(3)內設有粉塵過濾器(301)。

11.根據權利要求1所述的一種帶上料器真空氣相沉積爐，其特征在于，所述加熱元件為感應加熱、電阻加熱或燃料加熱。