[發(fā)明專利]蒸鍍方法、蒸鍍裝置以及顯示裝置

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010040141.1
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111244330A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊付強;杜驍
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 楊艇要

本發(fā)明提供一種蒸鍍方法、蒸鍍裝置以及顯示裝置，所述蒸鍍方法包括至少一像素蒸鍍步驟，在一基板表面蒸鍍出紅色像素和/或綠色像素和/或藍色像素。本發(fā)明的技術(shù)效果在于，提高像素的像素密度，進一步提高顯示面板的分辨率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及掩膜板領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍方法、蒸鍍裝置以及顯示裝置。

背景技術(shù)

有機發(fā)光二極管(OLED，Organic Light Emitting Diode)由于具有自主發(fā)光、可視角大、色域?qū)挕⒎磻?yīng)時間短、對比度高的顯示特性，且具有輕薄、柔性等優(yōu)點，已成為繼液晶顯示器后的第三代顯示技術(shù)。

目前OLED顯示面板多用蒸鍍法制備，主要是透過高精密金屬掩模板(FineMetalMask，F(xiàn)MM)在基板上的相應(yīng)的像素位置蒸鍍上有機發(fā)光膜層，結(jié)合其他功能層構(gòu)成發(fā)光器件。由于紅、綠、藍三基色發(fā)光子像素的有機發(fā)光材料不同，在制作過程中，需要通過FMM上精密微小的開孔定義紅、綠、藍三種子像素的位置、尺寸和形狀。

然而，紅、綠、藍三種子像素的尺寸都在微米量級，這對FMM的加工精度提出了較高要求。在蒸鍍過程中，同一種像素采用一塊Mask進行蒸鍍，受制于技術(shù)和工藝條件，F(xiàn)MM的加工精度存在物理極限，其開口精度直接限定了OLED顯示面板的分辨率。

目前所采用的FMM在OLED面板生產(chǎn)中很難實現(xiàn)高于QHD(約600ppi)的分辨率，因為這將導(dǎo)致超過800ppi的UHD中的RGB像素重疊。而隨著顯示面板向高分辨率的發(fā)展，進一步優(yōu)化Mask蒸鍍制程以及像素排布成為提高面板分辨率的有效途徑。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，解決采用現(xiàn)有掩膜板蒸鍍像素時，顯示面板的像素密度不高的技術(shù)問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種蒸鍍方法，包括至少一像素蒸鍍步驟，在一基板表面蒸鍍出紅色像素和/或綠色像素和/或藍色像素。

進一步地，所述像素蒸鍍步驟包括以下步驟：掩膜板設(shè)置步驟，將一掩膜板傳入一蒸鍍裝置的機臺處；基板設(shè)置步驟，將一基板傳入所述蒸鍍裝置的腔體內(nèi)部；對位步驟，將所述掩膜板與所述基板對位處理；蒸鍍步驟，蒸鍍所述基板；以及掩膜板更換步驟，更換另一掩膜版，重復(fù)執(zhí)行2～5次所述掩膜板設(shè)置步驟、所述基板設(shè)置步驟、所述對位步驟及所述蒸鍍步驟。

進一步地，在所述掩膜板更換步驟中，更換的另一掩膜板的開口在所述基板表面的正投影與所述掩膜板在所述基板表面的正投影相離。

進一步地，所述像素蒸鍍步驟包括以下步驟：掩膜板設(shè)置步驟，將第一掩膜板傳入一蒸鍍裝置的第一機臺處，將第二掩膜板傳入所述蒸鍍裝置的第二機臺處，將第三掩膜板傳入所述蒸鍍裝置的第三機臺處；基板設(shè)置步驟，將一基板傳入所述蒸鍍裝置的一腔室內(nèi)部，所述腔室與所述第一機臺相對設(shè)置；對位步驟，將所述掩膜板與所述基板對位處理；蒸鍍步驟，蒸鍍所述基板；以及基板傳遞步驟，將基板傳送至所述蒸鍍裝置的另一腔室內(nèi)，重復(fù)執(zhí)行2～5次所述對位步驟及所述蒸鍍步驟。

進一步地，在基板傳遞步驟中，所述第二掩膜板的開口在所述基板表面的正投影與所述第一掩膜板在所述基板表面的正投影相離。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種蒸鍍裝置，包括：機臺，用于放置基板；邊框，用以安裝掩膜板；以及至少一掩膜板，包括第一掩膜板和/或第二掩膜板和/或第三掩膜板；其中，所述第一掩膜板安裝至所述框架，且與所述基板相對設(shè)置，用以將紅色像素蒸鍍至所述基板；所述第二掩膜板安裝至所述框架，且與所述基板相對設(shè)置，用以將藍色像素蒸鍍至所述基板；所述第三掩膜板安裝至所述框架，且與所述基板相對設(shè)置，用以將綠色像素蒸鍍至所述基板。

進一步地，每一掩膜板包括若干開口；蒸鍍同一像素的若干掩膜板的開口形狀相同；蒸鍍同一像素的至少一掩膜板的若干開口排列成矩陣。

進一步地，一掩膜板的開口在所述基板下表面的正投影與另一掩膜板在所述基板下表面的正投影相離。