[發明專利]用于檢查缺陷的方法和裝置

在審

• 申請號: 202010036268.6
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN111505008A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 李知錫;金種佑
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 楊黎峰;王麗

本發明示例性實施例的用于檢查缺陷的方法從包括反射圖案層的檢查對象獲取分別包括暗圖像區域和亮圖像區域的透射圖像和反射圖像。從透射圖像和反射圖像檢測異常區域。當異常區域對應于反射圖像和透射圖像兩者中的暗圖像區域時，所述異常區域被確定為非缺陷區域。可以減少將非缺陷產品誤認為是有缺陷產品的比率。

技術領域

本發明涉及用于檢查缺陷的方法和裝置。更具體地，本發明涉及用于使用缺陷部分的亮度差異來檢查缺陷的方法和裝置。

背景技術

由于觸摸輸入類型作為下一代輸入類型而備受關注，因此正在嘗試將觸摸輸入類型引入更多種類的電子裝置中。因此，已積極進行對能夠應用于不同環境并且精確地識別觸摸的觸摸傳感器的研究和開發。

例如，在具有觸摸輸入類型顯示器的電子裝置的情況下，具有改善的便攜性的、實現了超輕且低功耗的超薄柔性顯示器作為下一代顯示器而備受關注，因此需要對適用于這種顯示器的觸摸傳感器進行開發。

在執行用于制造膜型觸摸傳感器的工藝中，由于各種因素，諸如附著到膜型觸摸傳感器的表面或內部的異物、在其上產生的污染物或劃痕，可能在膜型觸摸傳感器上出現各種類型的缺陷。因此，可能需要用于檢測這種缺陷的后續過程。作為用于檢測這種缺陷的檢查方法，已經使用了光學檢查方法，其中通過使用諸如攝像機的成像裝置來捕獲關于膜型觸摸傳感器的外觀的圖像，并且對捕獲的圖像進行分析。

韓國專利公開No.2011-0024608涉及光學檢查裝置和使用所述光學檢查裝置的檢查方法，并且公開涉及光學檢查裝置的構造，其特征在于，包括：支撐單元，在其上放置檢查對象；第一照射單元，其被安裝在支撐單元的上側并且產生具有短波長的第一光以照射被放置在支撐單元上的檢查對象；以及成像單元，其被配置成對被第一光照射的檢查對象進行成像。

然而，在常規的光學檢查方法的情況下，存在以下問題：能夠正常使用的檢查對象也被確定為有缺陷產品，從而降低了制程良率，或者需要用于另外再次檢查已被確定為有缺陷產品的檢查對象的過程，以提高良率。

發明內容

根據本發明的一方面，提供了一種具有改進的可靠性和增加的良率的用于檢查缺陷的方法。

根據本發明的一方面，提供了一種具有改進的可靠性和增加的良率的用于檢查缺陷的裝置。

本發明可以采用以下技術方案。

1.一種用于檢查缺陷的方法，包括：獲取透射圖像和反射圖像，所述透射圖像包括第一亮圖像區域和與來自包括反射圖案層的檢查對象的反射圖案層對應的預定第一暗圖像區域，所述反射圖像包括對應于所述第一暗圖像區域的第二亮圖像區域和對應于所述第一亮圖像區域的第二暗圖像區域；從所述透射圖像和所述反射圖像中檢測異常區域；以及將與所述反射圖像和所述透射圖像兩者中的暗圖像區域對應的所述異常區域確定為非缺陷區域。

2.根據上述1所述的用于檢查缺陷的方法，其中與所述反射圖像的所述非缺陷區域對應的所述暗圖像區域比所述第二暗圖像區域更暗。

3.根據上述1所述的用于檢查缺陷的方法，其中與所述透射圖像的所述非缺陷區域對應的所述暗圖像區域比所述第一暗圖像區域更亮，并且比所述第一亮圖像區域更暗。

4.根據上述1所述的用于檢查缺陷的方法，其中與所述透射圖像的所述非缺陷區域對應的所述暗圖像區域比與所述反射圖像的所述非缺陷區域對應的所述暗圖像更亮。

5.根據上述1所述的用于檢查缺陷的方法，其中所述非缺陷區域對應于異物或劃痕。

6.根據上述1所述的用于檢查缺陷的方法，還包括：將包括所述非缺陷區域但不包括有缺陷區域的所述檢查對象確定為非缺陷產品。

7.根據上述1所述的用于檢查缺陷的方法，其中所述透射圖像和所述反射圖像是同時獲取的。