[發明專利]一種晶圓涂膠設備

在審

• 申請號: 202010035867.6
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN111085387A
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 商帥
• 申請（專利權）人: 商帥
• 主分類號: B05C1/02
• 分類號: B05C1/02;B05C11/10;B05C13/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓涂膠設備，其特征在于：其結構包括控制面板(1)、機箱(2)、夾持臺(3)、涂抹機構(4)、固定架(5)、升降桿(6)、升降缸(7)、固定臺(8)，所述機箱(2)的正面上設有控制面板(1)且頂部的后端上連接有固定架(5)，所述固定架(5)上焊接有固定臺(8)，所述升降缸(7)垂直安裝在固定臺(8)的頂部上，所述固定臺(8)的下方設有涂抹機構(4)且涂抹機構(4)通過三組的升降桿(6)與固定臺(8)活動連接，所述涂抹機構(4)的正下方安裝有夾持臺(3)且夾持臺(3)位于機箱(2)頂部的中間；

所述涂抹機構(4)由圓環架(41)、旋轉盤(42)、散料器(43)、平鋪器(44)組成，所述旋轉盤(42)上分布有兩根對稱的散料器(43)與兩根對稱的平鋪器(44)，所述旋轉盤(42)上的旋轉盤(42)與散料器(43)交錯分布。

2.如權利要求1所述的一種晶圓涂膠設備，其特征在于：所述夾持臺(3)由收集槽(31)與晶圓放置臺(32)組成，所述夾持臺(3)中間設有晶圓放置臺(32)，所述晶圓放置臺(32)四周開有收集槽(31)。

3.如權利要求1所述的一種晶圓涂膠設備，其特征在于：所述散料器(43)由加料口(a1)、膠料槽(a2)、通孔(a3)、放料輥(a4)與撫平板(a5)組成，所述散料器(43)內部開有膠料槽(a2)且膠料槽(a2)上方的頂板上開有通孔(a3)，所述通孔(a3)的上方安裝有加料口(a1)，所述膠料槽(a2)的底部活動安裝有放料輥(a4)，所述膠料槽(a2)底部開口處兩側都設有撫平板(a5)。

4.如權利要求3所述的一種晶圓涂膠設備，其特征在于：所述撫平板(a5)為圓弧狀的結構且與撫平板(a5)兩側相貼合。

5.如權利要求4所述的一種晶圓涂膠設備，其特征在于：所述撫平板(a5)上均勻等距開有八組的盛料槽(e)，所述盛料槽(e)底部為圓弧形的結構。

6.如權利要求1所述的一種晶圓涂膠設備，其特征在于：所述平鋪器(44)由旋轉鈕(b1)、滾輪(b2)、絲桿(b3)、升降架(b4)、旋轉軸(b5)、圓套(b6)組成，所述平鋪器(44)內部為中空結構且內部設有滾輪(b2)，所述滾輪(b2)兩側上的框架上都安裝有兩根的絲桿(b3)，所述滾輪(b2)上的旋轉軸(b5)與升降架(b4)上的圓套(b6)相配合，所述滾輪(b2)通過升降架(b4)與兩側的絲桿(b3)螺紋連接，所述絲桿(b3)貫穿平鋪器(44)的頂部且與旋轉鈕(b1)相連接。

7.如權利要求1所述的一種晶圓涂膠設備，其特征在于：所述旋轉盤(42)由旋轉環(c1)、齒輪(c2)與電機(c3)組成，所述電機(c3)與齒輪(c2)相連接，所述齒輪(c2)與旋轉環(c1)內側上的齒相嚙合。

8.如權利要求7所述的一種晶圓涂膠設備，其特征在于：所述旋轉環(c1)與散料器(43)、平鋪器(44)相連接。